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[发明专利]基于自反射光的扩束光路补偿的激光扩束传输系统及方法-CN201910251997.0在审
发明人：刘杰;王建立;陈涛;孙敬伟;吕天宇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及激光扩束传输技术领域，提供了一种基于自反射光的扩束光路补偿的激光扩束传输系统和用于该系统的扩束光路补偿方法。该系统包括分光镜、第一扩束机构、变形反射镜、第二扩束机构、采样反射镜、缩束机构、波前探测器、波前控制器和高压放大器，其中采样反射镜位于光路的末端，本发明根据光路可逆原理，使用扩束光路自身作为缩束光路，通过探测激光的自反射光的波前信息并计算控制电压实现对扩束光路的补偿，系统结构简单、成本低、光路简单，该系统采用的分离式两级扩束机构，可以根据不同需求进行调整，使得该系统具有非常好的通用性。
扩束光路激光扩束扩束机构反射光光路采样反射镜传输系统传输技术领域光路可逆原理计算控制电压变形反射镜波前控制器波前探测器高压放大器波前信息探测激光系统结构分光镜实施性两级

[发明专利]一种位相共轭成像光刻系统-CN200710119960.X无效
发明人：赵立新;唐小萍;胡松;邢薇 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2007-08-06 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种位相共轭成像光刻系统包括：激光器、第一分光镜、第二分光镜、反射镜、第一扩束镜、第二扩束镜、第三扩束镜、非线性介质、对称分光棱镜、掩膜和硅片，激光器发出的光经第一分光镜分成两路：一路经第二分光镜后又分成两路，其中一路经过第一扩束镜扩束后作为一束泵浦光进入非线性介质，其中另一路经过反射镜、第三扩束镜扩束后作为另一束泵浦光进入非线性介质；经过第二分光镜后的另一路由第二扩束镜进行扩束，经过振幅掩模后，携带着掩模的成像信息被对称分光棱镜反射进入非线性介质中，与上述的两束泵浦光发生位相共轭，产生的位相共轭光透过对称分光棱镜在感光基片上成像，完成位相共轭成像光刻。
一种位相共轭成像光刻系统

[发明专利]一种带散热部件的激光雕刻机用光学传输装置-CN201510415130.6在审
发明人：刘志博 -专利权人：山西运城制版集团（上海）企业发展有限公司
申请日： 2015-07-15 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： B23K26/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种带散热部件的激光雕刻机用光学传输装置，该装置对准待雕刻版辊，所述的光学传输装置包括光路室；出光口，设置光路室内；扩束镜，设置在光路室内；散热部件，设置在光路室内并包住扩束镜，用于扩束镜的散热；聚焦部件，设在的光路室的出口端，并与出光口、扩束镜保持在同一中心点上。
一种散热部件激光雕刻用光传输装置

[实用新型]用于晶圆划片的双光路激光加工装置-CN201920921581.0有效
发明人：邵西河;卢巍 -专利权人：浙江圣石激光科技股份有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于晶圆划片的双光路激光加工装置，包括激光器及双光路组件，双光路组件包括光闸A、光闸B以及扩束镜，偏光分光镜，二分之一波长板；激光器产生的激光形成光路A、光路B；光路A通过光路A反射镜反射后进入扩束镜，扩束镜对光束进行扩束后再经过一个光路A反射镜后进入偏光分光镜；光路B通过光路B反射镜反射后到达二分之一波长板调整后再经过一个光路B反射镜后进入偏光分光镜；偏光分光镜射出的激光聚焦在待加工的晶圆上；本实用新型光路A偏转后的光束可通过扩束镜可以动态的调整激光光斑，满足复杂的加工需求；光路B偏转后的光束经1/2波长板后可以动态的调整激光器的能量，从而保证加工效果。
用于划片双光路激光加工装置

[发明专利]用于晶圆划片的双光路激光加工装置及方法-CN201910530053.7在审
发明人：邵西河;卢巍 -专利权人：浙江圣石激光科技股份有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于晶圆划片的双光路激光加工装置及方法，加工装置包括激光器及双光路组件，双光路组件包括光闸A、光闸B以及扩束镜，偏光分光镜，二分之一波长板；激光器产生的激光形成光路A、光路B；光路A通过光路A反射镜反射后进入扩束镜，扩束镜对光束进行扩束后再经过一个光路A反射镜后进入偏光分光镜；光路B通过光路B反射镜反射后到达二分之一波长板调整后再经过一个光路B反射镜后进入偏光分光镜；偏光分光镜射出的激光聚焦在待加工的晶圆上；本发明光路A偏转后的光束可通过扩束镜可以动态的调整激光光斑，满足复杂的加工需求；光路B偏转后的光束经1/2波长板后可以动态的调整激光器的能量，从而保证加工效果。
光路偏光分光镜扩束镜双光路激光器晶圆二分之一波长板偏转激光加工装置反射镜反射动态的反射镜光闸划片加工激光光斑激光聚焦加工装置组件包括波长板扩束射出激光保证

[发明专利]一种基于多波段激光整形的离轴两反切换变倍扩束组件-CN202211582959.1在审
发明人：宋程;黄则兵;王朝曦;王海涛;梁娟 -专利权人：湖北久之洋红外系统股份有限公司;华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多波段激光整形的离轴两反切换变倍扩束组件，包括1组离轴主、次镜和1组平面反射镜；其中，离轴主、次镜均为离轴同心抛物镜，抛物面中心轴重合，激光光束依次经过离轴次镜和离轴主镜实现4倍扩束；平面反射镜组为两个45°平行放置的平面反射镜，平面反射镜组切入离轴光路时，将入射光路截断，激光光束通过平面反射镜组实现光路折转，实现1倍扩束；平面反射镜组切出离轴光路，切入离轴光路盲区时，通过离轴主、次镜实现4倍扩束。本发明可实现对多波段激光系统，实现4×扩束/1×扩束，利用光路盲区实现切换变倍，在平面反射镜组切入离轴光路盲区时，实现激光光束4倍扩束；平面反射镜组切入离轴光路时，实现1倍扩束。
一种基于波段激光整形离轴两反切换变倍扩束组件

[实用新型]带散热部件的激光雕刻机用光学传输装置-CN201520512534.2有效
发明人：刘志博 -专利权人：山西运城制版集团（上海）企业发展有限公司
申请日： 2015-07-15 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： B23K26/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种带散热部件的激光雕刻机用光学传输装置，该装置对准待雕刻版辊，所述的光学传输装置包括：光路室；出光口，设置光路室内；扩束镜，设置在光路室内；散热部件，设置在光路室内并包住扩束镜，用于扩束镜的散热；聚焦部件，设在的光路室的出口端，并与出光口、扩束镜保持在同一中心点上。
散热部件激光雕刻用光传输装置

[实用新型]一种激光刻码机光路密封装置-CN201920114763.7有效
发明人：胡晶;郑怡秋 -专利权人：苏州锦帛方精密设备有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光刻码机光路密封装置，包括光路密封外壳以及光路机构，所述光路机构包括合束镜固定座、扩束镜、振镜安装板以及红光，所述光路密封外壳包括激光器安装基板、光路侧板、光路封板以及光路安装底板，激光器安装基板、光路侧板、光路封板以及光路安装底板围合成安装空腔，所述光路机构置于安装空腔内，所述合束镜固定座固定于激光器安装基板的下侧板体上，红光连接于合束镜固定座侧面，所述扩束镜连接在合束镜固定座的另一侧面，所述振镜安装板置于扩束镜的另一端且固定在光路侧板的内侧面板上。所述激光刻码机光路密封装置能快速的调节光路，减少调试时间，提高调试效率，降低人工调试强度，保证打标效果，实用性高。
光路合束镜激光刻码机安装基板光路机构固定座激光器扩束镜侧板安装底板安装空腔密封外壳安装板封板红光振镜调试本实用新型固定座侧面调试效率内侧面板围合成下侧板打标侧面保证

[发明专利]一种侧泵激光模块热效应的检测装置-CN201210080185.2无效
发明人：樊仲维;王小发;黄玉涛;连富强;黄科;石朝辉;王培峰;周密;赵天卓;唐熊忻 -专利权人：北京国科世纪激光技术有限公司
申请日： 2012-03-23 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种侧泵激光模块热效应的检测装置，包括：指示光源，由激光器构成，发出指示光；扩束镜，用于将指示光扩束；第一1:1分束镜，用于将被扩束镜扩束后的光分成反射光束和透射光束，该反射光束和透射光束的方向不同、能量相等；第二1:1分束镜；至少两个全反镜，分别将所述反射光束和透射光束反射到所述第二1:1分束镜，相干叠加成一束相干光束，其中所述反射光束所经历的光路为第一光路，所述透射光束所经历的光路为第二光路；
一种激光模块热效应检测装置

[发明专利]激光转折装置、激光加工光路系统及光路调试方法-CN201911057301.7有效
发明人：高爱梅;李星辰;武震;郑佳晶 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本申请公开一种激光转折装置、激光加工光路系统及光路调试方法，涉及激光加工技术领域。激光加工光路系统包括加工基座、激光扩束准直装置、激光转折装置、激光聚焦装置和同轴调节装置。激光扩束准直装置和激光转折装置沿X轴方向间隔设置，激光扩束准直装置用于发射激光并对激光进行准直扩束；激光聚焦装置连接于加工基座，激光聚焦装置用于将由光路出口射出的激光聚焦成加工用的微细光斑；同轴调节装置沿Z轴方向连接于激光转折装置，同轴调节装置用于识别对位加工标记以及辅助调节激光光路。激光加工光路系统能够快速便捷地实现激光光束的扩束、转折调节及聚焦，光路调试方法简单，调试精度高，为激光加工设备的工业化生产提供了保障。
激光转折装置加工系统调试方法

[实用新型]一种光纤光栅刻写光路-CN202120165699.2有效
发明人：杨益;戴立伟;李跃霖;骆崛逵 -专利权人：武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G02B6/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种光纤光栅刻写光路，包括：沿光路依次安装的紫外光激光器、扩束镜组件、光阑、柱面镜组件和相位掩模板；紫外光激光器用于发射紫外激光，扩束镜组件用于将紫外激光进行扩束，光阑用于将紫外扩束后的光斑进行截取本实用新型提供的光纤光栅刻写光路，通过在整个光路上依次安装紫外光激光器、扩束镜组件、光阑、柱面镜组件和相位掩模板，使用扩束镜组件对高频深紫外激光进行扩束，并通过柱面镜组件调整焦距，从而轻松实现对高频紫外激光的扩束倍数调节
一种光纤光栅刻写

[发明专利]无波前探测扩束光路补偿的激光扩束传输方法及系统-CN201910253094.6在审
发明人：刘杰;王建立;陈涛;孙敬伟;吕天宇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G01J1/04 文献下载
摘要：本发明涉及激光扩束传输技术领域，提供了一种无波前探测扩束光路补偿的激光扩束传输方法及实施该方法的系统。该方法包括：将入射光束进行扩束以形成与变形反射镜口径相匹配的第一光束；将第一光束经变形反射镜反射形成的反射光束进行扩束以形成第二光束；接收第二光束的采样反射光束会聚后的光斑，并获取光斑的信息；根据光斑信息计算控制电压；根据控制电压对光路进行校正。该系统包括分光镜、第一扩束机构、变形反射镜、第二扩束机构、采样反射镜、聚焦透镜、能量探测器、算法控制器和高压放大器，通过在光路末端增加采样反射镜，探测激光的自反射光聚焦后的光斑能量实现对扩束光路的补偿。
变形反射镜激光扩束扩束光路采样反射镜光斑反射光束扩束机构扩束探测传输方法及系统传输技术领域计算控制电压高压放大器能量探测器算法控制器光斑能量光斑信息光路末端聚焦透镜控制电压入射光束探测激光反射光分光镜实施性采样反射校正匹配会聚口径聚焦传输

[实用新型]一种全息成像系统-CN201620158498.9有效
发明人：胡天佐;单明星;夏岩岩 -专利权人：长春博信光电子有限公司
申请日： 2016-03-02 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： G03H1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全息成像系统，包括：提供照射光束的光源；设置于光源的输出光路上的分束镜，以及由分束镜分成的物光路和参考光路；物光路包括第一反光镜和第一扩束镜，经分束镜形成的第一光束依次经过第一反光镜、第一扩束镜照射于被拍物，经被拍物形成的反射光由记录介质接收；参考光路包括第二扩束镜和第二反光镜，经分束镜形成的第二光束依次经过第二扩束镜、第二反光镜照射于记录介质；还包括设置于物光路和参考光路上的光束整形器本实用新型所述全息成像系统，在物光路和参考光路上设置有光束整形器，通过调整使照射光束的能量分布均匀，从而使由记录介质记录的干涉条纹信息更准确，降低成像误差。提高了全息成像的质量和精度。
一种全息成像系统

[实用新型]激光主梁-CN201220750891.9有效
发明人：鞠栋杰;林敬刚;王永峰;陈海清 -专利权人：潍坊路加精工有限公司
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光主梁，涉及激光设备技术领域，包括激光器，所述激光器连接有光路密封元件，所述光路密封元件连接有振镜，所述光路密封元件内设有与所述激光器连接的扩束镜，所述振镜连接有场镜，所述光路密封元件包括光路盒，所述光路盒连接所述激光器的一端的侧壁上设有用于所述扩束镜穿过的扩束镜通道，所述光路盒连接所述振镜的一端的侧壁上设有用于激光通过的激光通道，对应所述光路盒的内腔的位置设有可开启的密封盖。本实用新型激光主梁解决了现有技术激光主梁长度大和对扩束镜的调整不方便的技术问题。本实用新型激光主梁结构紧凑，体积小巧，对扩束镜的调整方便快捷；且降低了安装本实用新型激光主梁的激光打标机的生产成本。
激光

[发明专利]用于流式细胞仪的光束整形系统-CN202210223932.7在审
发明人：吴声成;王弼陡;孙晓洁;黄杰;周旻超;卢势浩 -专利权人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于流式细胞仪的光束整形系统，包括至少两路光束整形单元，至少两路光束整形单元的输出光束最后聚焦至指定位置；每路光束整形单元均包括激光光源、光源扩束系统、反射镜、柱透镜和聚焦透镜，光源扩束系统包括沿光路依次设置的第一扩束透镜和第二扩束透镜，反射镜位于第一扩束透镜和第二扩束透镜之间或位于第二扩束透镜之后。本发明具有灵活的光源扩束系统，可根据商业成品激光器的输出光特性方便调节具有不同参数的扩束透镜，同时通过对光源扩束系统的一个扩束透镜进行轴向调节还能起到调节激光束腰位置功能，这样就不需要对激光光斑尺寸和束腰位置进行定制
用于细胞光束整形系统

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