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- [发明专利]光刻方法-CN202111547641.5有效
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罗先刚;刘凯鹏;罗云飞;牟帅;高平;赵泽宇
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中国科学院光电技术研究所
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2021-12-16
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2022-09-20
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G03F7/20
- 本公开提供一种光刻方法，包括：在光刻基底表面依次制备叠设的功能膜层、反射式辅助成像膜层及第一光刻胶层。对第一光刻胶层进行光刻，得到第一光刻结构。以第一光刻结构为掩蔽层对反射式辅助成像膜层进行刻蚀，以将第一光刻结构的图形传递到反射式辅助成像膜层上。在反射式辅助成像膜层的图形上依次制备叠设的第二光刻胶层及透射式辅助成像膜层。以反射式辅助成像膜层的图形为掩模进行表面等离子体光刻，去除透射式辅助成像膜层后对第二光刻胶层进行显影，得到第二光刻结构。以第二光刻结构为掩蔽层对功能膜层进行刻蚀，以将第二光刻结构的图形传递至功能膜层，得到第三光刻结构。本公开的方法能够提升光刻的分辨力。
- 光刻方法
- [发明专利]显示面板及显示装置-CN202110305458.8有效
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吴曜东
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厦门天马微电子有限公司
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2021-03-19
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2022-08-23
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H01L27/32
- 显示面板包括：感光阵列层，感光阵列层包括多个阵列的感光单元；发光功能层；以及色阻层，发光功能层位于色阻层和感光阵列层之间；色阻层包括第一遮光层以及第一色阻单元，第一遮光层开设有第一开口和第二开口，第一开口与感光单元对应本申请通过将第一开口与第二开口连通，使得第一开口与第二开口之间没有明显的第一遮光层，从而削弱成像光线产生衍射而影响感光单元的成像效果，提高成像的清晰度；在没有成像对象时，整个感光阵列层的成像单元能够对发光器件进行成像，可以通过成像内容来实时监测发光器件的工作状态。
- 显示面板显示装置
- [实用新型]智能调光感应柔性面板及其操作系统-CN201320165546.3有效
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刘泽江;夏宇;翟立娜
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苏州泛普纳米科技有限公司
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2013-04-03
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2013-09-25
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G06F3/041
- 本实用新型揭示了一种智能调光感应柔性面板及其操作系统，包括柔性面板和感应信号采集控制集成电路板，其中柔性面板包括前保护层、网格导线层、绝缘胶层、成像调光层、后保护层，所述网格导线层的导线与所述成像调光层的导线电路共同汇集于感应信号采集控制集成电路板上，所述前保护层、网格导线层、绝缘胶层、后保护层均为高透光层，所述成像调光层可以在透明与不透明间切换，所述网格导线层可以精准感应人体的触控。本实用新型的有益效果主要体现为：同时具备智能调光、精准触控感应、投影成像功能，有效地将触控、成像、调光三种功能融合于一体，有效地解决了因为成像调光层内液晶分子产生的电磁辐射使得调光层不能近距离与网格导线层粘合的问题
- 智能调光感应柔性面板及其操作系统
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