专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]自对准硅化镍的制备方法-CN201410491170.4在审
  • 张红伟;温振平 - 上海华力微电子有限公司
  • 2014-09-23 - 2015-02-11 - H01L21/768
  • 本发明提供了一种自对准硅化镍的制备方法,所述自对准硅化镍的制备方法至少包括下列步骤:对暴露的硅表面进行预清洗,除去自然氧化物;在清洗后的硅表面上沉积镍或镍合金;在第一温度和特定气体氛围(纯惰性气体且流量介于0至5slm)下进行低温快速热退火处理,使部分镍或镍合金与硅反应,形成高电阻的硅镍化物;去除未反应的镍或镍合金;在第二温度和特定气体氛围(纯惰性气体且流量介于0至5slm)下进行高温快速热退火处理,使所述高电阻硅镍化物转化为低电阻的硅镍化物本发明通过减少快速热退火处理中的惰性气体的流量,既降低了惰性气体中氧化杂质的含量,提高了硅化镍的生成质量,又通过降低腔体中压力来减少镍原子沿着缺陷扩散产生尖峰缺陷与管道缺陷的可能性,同时降低了生产成本。
  • 对准硅化镍制备方法
  • [实用新型]一种微型电极的涂膜装置-CN202222513631.6有效
  • 谭丰帆;王晓飞;毛建 - 上海糖简生物传感技术有限公司
  • 2022-09-22 - 2023-02-28 - B05C3/10
  • 本实用新型公开了一种微型电极的涂膜装置,包括底座、升降机构、电极装载盘、环境氛围罩、旋转电机、转盘、控制器和触摸屏,升降机构包括壳体、升降电机、直线导轨、滑块和纵向连接杆,纵向连接杆的一端与滑块相连;纵向连接杆的另一端通与电极装载盘相连;环境氛围罩罩在底座的底端,且环境氛围罩位于升降机构的前侧;旋转电机安装在底座内,转盘设置在环境氛围罩内,环境氛围罩的顶端沿同一圆周均布有若干电极插孔,环境氛围罩的外壁面上开设有两个气孔,其中一个气孔内穿插有惰性气体管路
  • 一种微型电极装置

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