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[发明专利]一种基于微流控供液的声表面波雾化器及其制备方法-CN202310350991.5在审
发明人：黄庆云;万志坚;黄健;韩建伟;陈知泰 -专利权人：深圳职业技术学院
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： A61M11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于微流控供液的声表面波雾化器及其制备方法，所述基于微流控供液的声表面波雾化器包括声表面波器件，所述声表面波器件的一侧设有微流道，所述微流道包括位于底层的光刻胶微流沟道，所述光刻胶微流沟道的上表面设有二氧化硅薄膜层，所述二氧化硅薄膜层的上方设有通过氧气等离子化处理的PDMS层，所述PDMS层与光刻胶微流沟道通过热键合的方式结合，形成封闭的微流控通道。
一种基于微流控供液表面波雾化器及其制备方法

[发明专利]显示装置以及显示装置的制造方法-CN200810212476.6有效
发明人：小林聪;川俣郁子;大力浩二;小森茂树;伊佐敏行;山崎舜平 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2008-08-29 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：在具有沟道停止型的反交错型薄膜晶体管的显示装置中，该沟道停止型的反交错型薄膜晶体管具有包括沟道形成区的微晶半导体膜，并且在该微晶半导体膜的沟道形成区中的不重叠于源电极及漏电极的区域中选择性地设置有包括一种导电型的杂质元素的杂质区
显示装置以及制造方法

[发明专利]一种磁性尺寸依赖的微流控芯片-CN201910081976.9有效
发明人：刘侃;张泽芬 -专利权人：武汉纺织大学
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁性尺寸依赖的微流控芯片，包括盖片和基片，盖片和基片密封连接，盖片下表面上开设有磁泳分离结构和尺寸分选沟道，磁泳分离结构用于分离出磁性‑目标复合物，尺寸分选沟道用于分离捕获不同尺寸的磁性微球该微流控芯片结构简单，易于制作，成本低廉，且不需要移动外部磁铁，就能在微腔中完成全部的检测步骤，提高了检测效率和准确性。
一种磁性尺寸依赖微流控芯片

[发明专利]一种用于微流控芯片的液体储存结构及微流控芯片-CN201910566929.3有效
发明人：王东;江荣香;李泉 -专利权人：深圳华迈兴微医疗科技有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明适用于微流控芯片发光免疫检测技术领域，提供一种用于微流控芯片的液体储存结构及微流控芯片，所述存储结构包括空腔，所述空腔的顶部设置有第一开口，侧面设置有第二开口；所述空腔内设置有存储液体的液囊；所述第二开口处连接有沟道；所述沟道内设置有刺破件，所述液囊在外力挤压时，所述液囊被所述刺破件刺破。本发明通过将存储液体的液囊设置在空腔内，能够有效的对液体进行保存，避免液体与空腔或其他部件接触，能够有降低液体变质的可能性，提高液体性能的稳定，从而能够有效提高微流控芯片检测的精准性；使用时，通过刺破件将液囊刺破，使得液体流出，并从第二开口处流向沟道，简单便捷。
一种用于微流控芯片液体储存结构

[发明专利]测量动态光散射的微流控芯片、其制备方法和应用-CN201810344768.9在审
发明人：杨克成;张翰林;王宽;张盼 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2018-04-17 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量动态光散射的微流控芯片、其制备方法和应用，属于动态光散射测量领域，该芯片用于测量单角度或多角度的动态光散射。该微流控芯片内部具有微流通道，微流通道设置为直沟道，在直沟道两端具有样品流入流出通道，直沟道的两侧分别具有一个光源输入通道和若干个散射光输出通道，输入通道与输出通道用于与光纤耦合。光源输入通道口和散射光输出通道口具有自聚焦透镜，从而使得入射激光和出射散射光可以聚焦，该微流控芯片还包括入射光纤和出射光纤。本发明装置和方法结合光纤在光信号采集传输的优势(体积减小，消除外界灰尘)和微流控芯片对被测试样精确控制，从而实现对动态光散射的高效测量，该芯片制备方法简单、高效。
微流控芯片动态光散射输入通道散射光直沟道制备方法和应用测量动态输出通道微流通道光散射光源光信号采集输出通道口自聚焦透镜被测试样测量领域出射光纤高效测量光纤耦合流出通道入射光纤入射激光体积减小外界灰尘芯片制备出射光纤测量聚焦芯片传输

[发明专利]一种微流控芯片及其制作方法-CN201310571537.9有效
发明人：梁福鹏;陆祖宏;封海清;涂景 -专利权人：东南大学
申请日： 2013-11-13 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微流控芯片，包括基片、包裹层、隔离层和流道，基片1上设置有牺牲层，牺牲层上设置有贯通牺牲层并深入基片内部的沟道，牺牲层上覆盖包裹层，沟道内设置有隔离层，隔离层将牺牲层划分成不同的区域，基片和本发明还公开了上述微流控芯片的制作方法。本发明的微流控芯片，容易制作，成品率高，成本低廉、对基片表面的平整度要求低。通过在基片上设置有牺牲层，方便通过控制牺牲层的厚度控制流道的深度，通过在牺牲层上生成沟道，并在沟道中设置隔离层，隔离层将牺牲层隔离成不同区域，方便产生形状可控的复杂流道。
一种微流控芯片及其制作方法

[发明专利]基于N型金属氧化物半导体管结构的微电场传感器-CN200510040282.9无效
发明人：黄庆安;王立峰;秦明 -专利权人：东南大学
申请日： 2005-05-27 - 公布日： 2005-11-09 - 主分类号： G01R29/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于采集电场信号的基于N型金属氧化物半导体管结构的微电场传感器，包括p型衬底，在衬底上设有共平面的两个重掺杂的n型接触区，在重掺杂的n型接触区上为金属引线，在这两个重掺杂的n型接触区之间设有n型沟道且分别与之相连，在n型接触区及n型沟道的表面设有SiO₂层；本发明具有如下优点：利用掺杂半导体中电荷的漂移原理，静态地感应电场，当有外电场入射电场微传感器的n型沟道时，沟道电流会随入射电场的增大而增大，因此可以实现高可靠性、高分辨率的电场微传感器。
基于金属氧化物半导体结构电场传感器

[发明专利]一种微混合检测芯片-CN201310122728.7有效
发明人：曹越;霍小林;吴昌哲;张广浩 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2013-04-10 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： B01F13/00 文献下载
摘要：一种微混合检测芯片，包括：m个入口、1个出口、混合沟道（5）、检测沟道（6）、2个光纤沟道（8、9）、基片（2）和盖片（1）。所述的混合沟道（5）与检测沟道（6）相连，2个光纤沟道（8、9）位于检测沟道（6）的两侧。混合沟道（5）、检测沟道（6）和光纤沟道(8、9)均刻于基片（2）上。两个光纤沟道分别为插入入射光纤的入射光纤沟道和插入接收光纤的接收光纤沟道，入射光纤沟道、接收光纤沟道与检测沟道三者的中心线位于同一直线上，互不相通。
一种混合检测芯片

[发明专利]一种微流体阵列装置-CN201210425386.1无效
发明人：张文栋;桑胜波;杜少博;胡杰;李朋伟;李刚;奉辉 -专利权人：太原理工大学
申请日： 2012-10-31 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明涉及微流体结构，具体是一种微流体阵列装置。本发明解决了现有用于生物检测的微流体结构不利于微小检测信号的提取、以及易损害被检测细胞的问题。一种微流体阵列装置包括微流体阵列层、键合于微流体阵列层的上表面的覆盖层、以及贴附固定于微流体阵列层的下表面的衬底层；其中，微流体阵列层的上表面分别开设有两列微流体结构单元、以及两条相互平行的纵向微流直沟道；两列微流体结构单元各包括相同个数的等距直线排列的微流体结构单元；每个微流体结构单元均包括一个微反应腔、以及一条与微反应腔连通的横向微流直沟道。
一种流体阵列装置

[发明专利]一种基于电润湿原理的管道状的微流控器件及其制备方法-CN201611177674.4有效
发明人：王伟;周嘉 -专利权人：复旦大学
申请日： 2016-12-19 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电润湿原理的管道状的微流控器件及其制备方法，该微流控器件包含设置在衬底上的管状沟道，该管状沟道由衬底层、电极层、介质层、疏水层由下向上依次堆叠的薄膜堆叠结构卷曲构成；该管状沟道的内部作为液体的运输通道本发明通过环绕管道内壁分布的电极结构，提高了器件对液体的操控能力并拓展了适用性，具有设计新颖、制备容易、控制简单、自动化程度高、输出精度高等特点，极大地拓展了微流控技术及现场快速检测技术等的应用范围。
一种基于润湿原理管道微流控器件及其制备方法

[实用新型]一种半导体激光阵列的微通道热沉装置-CN200920105128.9在审
发明人：王智勇;尧舜;刘江 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2009-01-16 - 公布日： 2009-12-23 - 主分类号： H01S5/024 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体激光阵列的微通道热沉装置，属于激光光电子技术及其应用领域。本装置由导热性能良好的内部镂空的金属薄片热沉叠合封装构成，分别为传热层(5)，微通道层(6)，导流层(8)，过流层(10)，底板(14)。微通道层(6)中有m条宽度为d的微型通水沟道(7)，并且相邻两微型通水沟道(7)之间的间距相等。微型通水沟道(7)与半导体激光阵列(12)的发光单元(13)按比例关系对应，达到了均匀冷却半导体激光阵列(12)的目的，提高了半导体激光阵列(12)的光束质量和寿命。
一种半导体激光阵列通道装置

[发明专利]一种采用仿角蜥蜴-红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管及其加工方法-CN202110200864.8有效
发明人：杨晓龙;唐煜;朱荻;李益民 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： F28D15/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用仿角蜥蜴‑红瓶子草联合结构吸液芯的超薄平板热管及其加工方法，平板热管包括上板和下板；上板和下板均加工有平行沟道阵列和正交沟道阵列，两区域相接；平行沟道阵列和正交沟道阵列的沟道均为截面呈等腰梯形的仿角蜥蜴皮肤毛细结构；平行沟道阵列和正交沟道阵列的沟道底面加工有若干微米V形次级沟道，形成仿红瓶子草绒毛结构；平行沟道阵列、正交沟道阵列、微米V形次级沟道的各沟道表面均加工有由纳米团簇构成的超亲液纳米结构；上板和下板加工有沟道一面正对焊接制成超薄平板热管本发明通过沟道几何拓扑、表面微纳结构和超浸润性联合仿生设计，综合优化了平板热管毛细驱动力、毛细阻力、以及冷凝和沸腾传热过程。
一种采用蜥蜴瓶子联合结构吸液芯超薄平板热管及其加工方法

[发明专利]适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制作方法-CN201110445804.9有效
发明人：李昕欣;王家畴;刘洁丹 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2011-12-27 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： G01F1/34 文献下载
摘要：本发明提供一种适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制作方法，所述单硅片微流量传感器包括一单晶硅基片、二压力传感器和具有出/入通口的微流体沟道，本发明采用单硅片单面体硅微机械加工方法，在单晶硅基片内部制作所述微流体沟道和压力传感器的参考压力腔体，并将所述二压力传感器和微流体沟道出/入通口巧妙地集成在同一单晶硅基片的同一面上，结构简单。本发明既避免了不同键合材料间热匹配失调所导致的残余应力和压力传感器的压力敏感薄膜厚度不均的问题，又适于利用表面贴装封装技术实现单硅片微流量传感器裸片与微流体系统的集成，具有制作成本低、封装方便、灵敏度高
适于表面封装硅片流量传感器及其制作方法

[发明专利]适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制备方法-CN201110443973.9有效
发明人：王家畴;李昕欣;刘洁丹 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2011-12-27 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： G01F1/34 文献下载
摘要：本发明提供一种适于表面贴装封装的单硅片微流量传感器及其制备方法，所述单硅片微流量传感器包括一单晶硅基片、二压力传感器和具有出/入通口的微流体沟道，本发明采用单硅片单面体硅微机械加工方法，在单晶硅基片内部制作所述微流体沟道、取压通道和压力传感器的参考压力腔体，并将所述二压力传感器和微流体沟道出/入通口巧妙地集成在同一单晶硅基片的同一面上，结构简单。本发明既避免了不同键合材料间热匹配失调所导致的残余应力和压力传感器的压力敏感薄膜厚度不均的问题，又适于利用表面贴装封装技术实现单硅片微流量传感器裸片与微流体系统的集成，具有制备成本低、封装方便、灵敏度高
适于表面封装硅片流量传感器及其制备方法

[发明专利]一种微流控芯片的微沟道加工设备-CN201110084634.6无效
发明人：刘晓为;王蔚;田丽;张海峰;韩小为 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2011-04-06 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： B26D3/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种微流控芯片的微沟道加工设备，本发明支架的下端与多自由度的数控载物台相连接，摇臂设置在支架上，划刻深度控制标尺设置在摇臂上，微尺寸刀具数控运动机构设置在划刻深度控制标尺上，加热器的上端与划刻深度控制标尺的下端相连接，微尺寸刀具的上部设置在加热器内，温度控制器通过导线与加热器相连接。本发明的设备是将控温加热与微机械加工装置相结合，采用数控编程保证了复杂沟道图形加工的同时也保证了所需的加工精度，使得微流控芯片的加工工艺流程得到简化，加工时间缩短。刀具寿命长，定位精度高，便于微流控芯片的批量化生产。制作的微流控芯片的沟道平整度与线性度良好。适用本发明的设备其加工方法简单易行。
一种微流控芯片沟道加工设备