专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于化学机械研磨的基底固定环-CN200710153654.8有效
  • 王裕标 - 智胜科技股份有限公司
  • 2007-09-07 - 2008-04-16 - B24B37/04
  • 在进行化学机械研磨过程中,边缘效应或是基底研磨边缘轮廓的变异的问题可以藉由建构固定环来降低。固定环是配置在研磨头中,用以支撑固定基底,因此研磨边缘轮廓会相对于基底中心而来回地移动。实施例包括建构固定环,使其内表面与外表面之间的宽度改变,以补偿抵销研磨边缘轮廓的变异。实施例也包括建构固定环,使其从外表面至内表面的几何中心的距离会改变。实施例更进一步包括建构固定环,使其外表面至被内表面所固定的基底周围的距离会改变。
  • 用于化学机械研磨基底固定

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