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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]半导体工艺中的过程控制方法及系统-CN201010540104.3有效
发明人：谢凯 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2010-11-10 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体工艺中的过程控制方法和系统，以及包含该过程控制系统的半导体控制系统，以解决现有的单变量过程控制无法满足需求的问题。所述方法包括：启动需监控工艺步骤对应的多变量统计过程控制模型；接收监控样本，所述监控样本包含所述需监控工艺步骤中各变量的多个工艺数据；根据所述多变量统计过程控制模型和所述需监控工艺步骤中各变量的多个工艺数据，获取对应所述需监控工艺步骤的故障分值；判断所述故障分值是否超出所述多变量统计过程控制模型的控制限，若是，则定量分析故障原因。本发明可以定量分析出故障原因，从而使工艺人员对故障报警有理性的认识。
半导体工艺中的过程控制方法系统

[发明专利]过程控制装置、过程控制系统、及过程控制方法-CN201310272410.7有效
发明人：神户隆宏;山本光浩 -专利权人：横河电机株式会社
申请日： 2013-07-01 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明涉及一种过程控制装置，其包含虚拟机，其以硬件为基础，作为硬件的替代而进行动作；第1、第2控制部，它们以虚拟机为基础进行动作，对多个现场仪器的动作进行控制；输入分配部，其设置在虚拟机中，将来自现场仪器的信号分配给第1、第2控制部；以及输出获取部，其设置在虚拟机中，获取第1、第2控制部的输出，将某一个输出向多个现场仪器中的至少一个现场仪器输出。
过程控制装置控制系统方法

[实用新型]一种化学反应过程控制仿真实训装置-CN201320167946.8有效
发明人：杨润贤;王斌 -专利权人：扬州工业职业技术学院
申请日： 2013-04-07 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： G09B23/24 文献下载
摘要：一种化学反应过程控制仿真实训装置，属于化学仿真、PLC过程控制、DCS过程控制、变频器过程控制等教学实训设备的技术领域。包括DCS控制柜、PLC控制柜、化学反应工艺仿真立体框架组，PLC控制柜设置在DCS控制柜与化学反应工艺仿真立体框架组之间，PLC控制柜通过连接电缆分别与DCS控制柜、化学反应工艺仿真立体框架组连接。本装置采用立体化的框架组结构仿真模拟工业生产过程化学反应完整的工艺流程，引进企业生产实例，以“真实的项目、真实的环境、真实的设备、真实的要求，真实的角色”实现过程控制技术的工程操作、应用、设计、运行与维护等方面的仿真教学与实践
一种化学反应过程控制真实装置

[发明专利]一种工业过程控制工艺引导系统-CN201710257632.X有效
发明人：唐志 -专利权人：唐志
申请日： 2017-04-19 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开一种工业过程控制工艺引导系统，包括工艺引导模块，对被控元件进行动作分解、属性配置，将用户的工艺通过简单的图形化和拖拽操作生成系统能识别的智能引导数据；数据采集与监视控制系统，监控过程控制系统工程的运行状态及参数调整；工艺解析模块，控制器对所述工艺引导模块生成的数据进行解析，实现用户工艺的过程控制；接口驱动模块，根据所述工艺解析模块的解析结果实现对外围接口设备的驱动。本发明不必关心被控元件的具体细节和网络拓扑结构，通过数据驱动思想，用户工艺控制程序完全由智能数据取代，实现控制器用户工艺程序的免编程，使用户的工艺过程控制变得简单、透明、直接、灵活。
一种工业过程控制工艺引导系统

[发明专利]一种基于RGA的工艺过程控制方法及工艺过程控制系统-CN201610252324.3有效
发明人：刘学庆 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-04-21 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种基于RGA的工艺过程控制方法及工艺过程控制系统，所述系统至少包括机台Tool、残余气体分析仪RGA的传感器RGA SENSOR、RGA的控制器Sensor Controller、工厂主机
一种基于 rga 工艺过程控制方法控制系统

[发明专利]过程控制-CN202080007553.3在审
发明人： J·R·帕里什;D·A·小莫什罗;M·L·尼尔森 -专利权人：陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2020-01-29 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：提供协调控制系统和控制实际过程的方法。所述协调控制系统和控制实际过程的方法利用非线性动态模型以及预测控制器计算，其中所测量干扰变量并入到所述非线性动态模型中。
过程控制

[发明专利]过程控制-CN201880046935.X有效
发明人：安德烈亚斯·帕策尔特;克里斯蒂安·佛斯 -专利权人： WAGO管理有限责任公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：一种用于控制过程的系统，包括第一控制装置、第一通信单元的第一通信接口、第二控制装置和第二通信单元的第二通信接口，第一控制装置包括第一处理器，其设置用于处理第一数据，第一通信接口设置用于接收第一数据，第二控制装置包括第二处理器
过程控制

[发明专利]一种改善等离子体刻蚀工艺中首片效应的方法-CN201810604582.2有效
发明人：钱洋洋;聂钰节 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-06-13 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供了一种改善等离子体刻蚀工艺中首片效应的方法，通过先进过程控制系统对前批次晶圆的晶粒数量进行数据收集，并根据收集的数据计算清洁工艺的工艺参数对反应腔室进行清洁，后批次晶圆在该反应腔室中等离子体刻蚀作业后，比较后批次晶圆中首片晶圆的沟槽形貌与目标形貌的差异，将比较结果反馈给先进过程控制系统，先进过程控制系统判断是否需要修正清洁工艺的工艺参数，若是，先进过程控制系统修正清洁工艺的工艺参数，采用修正后的工艺参数对反应腔室进行清洁
一种改善等离子体刻蚀工艺中首片效应方法

[发明专利]过程控制系统和过程控制方法-CN201510127628.2有效
发明人：中岛裕章;赤羽国治;林俊介 -专利权人：横河电机株式会社
申请日： 2015-03-23 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供了过程控制系统和过程控制方法。该过程控制系统包括：I/O模块，其被配置为连接到安装在其中控制工业过程的工厂中的现场装置，所述I/O模块自主地发送从所述现场装置接收的数据；以及更高级别装置，其包括临时存储从所述I/O模块自主发送的数据的存储器
过程控制系统控制方法

[发明专利]过程控制方法和过程控制系统-CN200510130493.1无效
发明人：永岛晃;大谷哲也;仲矢实;深野元太朗 -专利权人：横河电机株式会社
申请日： 2005-12-13 - 公布日： 2006-06-21 - 主分类号： G05B13/00 文献下载
摘要：一种过程控制系统，具有：数据存储部分，其保存从设置在工厂中的传感器输出的过程数据，所述工厂执行连续过程；跟踪信息处理部分，其根据保存在所述数据存储部分中的过程数据，获取在工厂中移动并以预定单位被离散的生成物的过程信息；状态估计部分，其基于所获取的过程信息估计所述被离散的生成物的特性；以及控制部分，其控制在工厂中设置的控制装置，使得估计值接近目标值。
过程控制方法控制系统

[实用新型]过程控制系统以及过程控制设备-CN201520388188.1有效
发明人： T·M·米尔斯 -专利权人：布里斯托尔D/B/A远程自动化解决方案公司
申请日： 2015-04-13 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型提供过程控制系统以及过程控制设备。该过程控制系统，包括：过程控制设备，被配置为控制流体的喷射；第一通信链路，位于过程控制设备与监测流体的压强的压强传感器及监测流体的流速的流量元件至少其中之一之间；以及第二通信链路，位于过程控制设备与现场设备之间，其中过程控制设备与现场设备通信，以控制流体的压强或流速至少其中之一。
过程控制系统以及控制设备

[实用新型]过程控制设备和过程控制系统-CN201320372153.X有效
发明人： S·W·安德森;R·安德斯;T·D·格雷博 -专利权人：费希尔控制国际公司
申请日： 2013-06-24 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G05B19/048 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种过程控制设备和过程控制系统。一种示例性过程控制设备包括：阀；可操作地耦接到所述阀的致动器；耦接到所述阀和所述致动器之一的第一振动传感器，其中所述第一振动传感器被配置为感测对应的阀或致动器的振动并且产生振动数据；以及可操作地耦接到所述振动传感器以从所述第一振动传感器接收所述振动数据的振动监控电路
过程控制设备控制系统

[发明专利]一种工艺过程控制方法-CN201310511929.6有效
发明人：杨晓驯;张波 -专利权人：上海西门子工业自动化有限公司
申请日： 2013-10-24 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种工艺过程控制方法，包括下列步骤：测量生产过程中的第一类工艺状态参量；根据当前所测出的第一类工艺状态参量以及基于知识库的模糊映射模型，估计第二类工艺状态参量；所述第二类工艺状态参量是难以实时测量的工艺状态参量；根据所测出的第一类工艺状态参量以及所估计的第二类工艺状态参量，确定控制变量的设定值。这种方案可以在部分工艺状态参量难以直接测量时，实时获得较为完整的工艺状态条件，并据此自动确定控制变量的设定值，降低对操作人员的依赖，保证产量和质量的稳定。
一种工艺过程控制方法

[发明专利]生物技术工艺的过程控制-CN200880129720.0无效
发明人：安德斯·布罗本特森;约翰·魏曼;斯坦恩·卡吉亚安徒生 -专利权人：福斯分析股份公司
申请日： 2008-06-13 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： C12M1/34 文献下载
摘要：一种利用一种或多种生物制剂或生化制剂(102、104、202)诸如微生物和/或酶将原材料(100、200)转化为期望产物(130、230)的生物技术工艺，其特征在于一种或多种所述生物制剂或生化制剂(102、104、202)的量通过依赖与工艺流相关的一个或多个所关注的值的过程控制算法(124、224)是可控制的。本发明的一个具体方面是使用过程控制算法来控制在通过将生物质发酵为醇的生物燃料生产中的酶的添加。
生物技术工艺过程控制

[发明专利]一种采用统计过程控制晶圆加工的方法-CN202210357701.5在审
发明人：孙俊杰;付斌 -专利权人：江苏道达智能科技有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用统计过程控制晶圆加工的方法，包括统计过程控制单元、数据库和反馈单元，统计过程控制单元具有数据处理模块和判断模块，统计过程控制单元读取数据库内的数据，先将加工工艺数据以及标准的晶圆设计参数然后进行划分匹配同时制定调整规则；接着通过判断模块将检测数据与晶圆设计参数进行判断比较，比较结果按照符合程度分为接近标准、符合标准和不良，根据接近标准、符合标准和不良的比较结果进行反馈，需要调整则将晶圆设计参数对应加工工艺数据根据调整规则进行调整，形成新的加工工艺数据；新的加工工艺数据通过反馈单元反馈至加工单元并执行。本发明通过统计过程控制保证晶圆加工品质。
一种采用统计过程控制加工方法

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