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- [发明专利]一种无线无源声表面波振动传感器-CN201711033799.4在审
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王文;王毅坚;薛蓄峰;梁勇
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中国科学院声学研究所
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2017-10-30
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2018-04-13
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G01H11/08
- 本发明涉及一种无线无源声表面波振动传感器,其包括天线(1)、匹配电路(2)、电路PCB板(3)、封装管帽(4)、封装管座(5)、悬臂梁固定基座(6)、压电悬臂梁(8)、第一声表面波器件(9)、第二声表面波器件(10)、封装管座(5);封装管座(5)上加盖封装管帽(4),构成一个封闭式中空的矩形空间;所述矩形空间内,封装管座(5)上安装悬臂梁固定基座(6);压电悬臂梁(8)的一端位于悬臂梁固定基座(6)上,作为固定端(16),并在其正、反两面且对应安装第一声表面波器件(9)和第二声表面波器件(10);压电悬臂梁(8)的另一端为自由端(17),并在其上固定安装所述质量振子(11)。
- 一种无线无源表面波振动传感器
- [发明专利]电感悬臂梁无线无源湿度传感器-CN201710886337.0在审
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王立峰;黄庆安;谢明珠
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东南大学
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2017-09-27
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2018-02-23
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G01N27/02
- 本发明是一种电感悬臂梁无线无源湿度传感器,其中,绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面;所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面;所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接,所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方;所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路;所述感湿薄膜(6)覆盖在所述电感悬臂梁(5)上方。本发明具有体积小、功耗低和可批量生产的优点,利用电感悬臂梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率,传感器的回滞更小、重复性更好,无需引线和电池供电,能在高温环境、密闭环境或旋转环境等恶劣环境进行湿度测量。
- 电感悬臂梁无线无源湿度传感器
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