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- [发明专利]石英玻璃坩埚及其制造方法-CN00804068.0有效
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W·维德克;J·莱斯特
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赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
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2000-12-14
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2002-03-20
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C03B19/09
- 本发明涉及一种石英玻璃坩埚,该坩埚具有围绕旋转轴对称的不透明石英玻璃坩埚体,该坩埚体具有不透明石英玻璃的外区(3),外区(3)径向向内向密度至少为2.15g/cm3的透明石英玻璃的内区(4)过渡,该石英玻璃坩埚的特点表现在高纯度和高不透性,或在IR-区的低透射,本发明建议,坩埚体(1)由一种比表面(按BET)为0.5m2/g-40m2/g的、捣实密度至少为0.8g/cm3的合成SiO2-颗粒物制成,该颗粒物由SiO2基粒的至少部分多孔的聚集物构成本发明的这种石英玻璃坩埚的制造方法的特征在于,为了制造该坩埚,采用由合成制造的SiO2-基粒的至少部分多孔的聚集体形成的SiO2-颗粒物,其比表面(按BET)为0.5m2/g-40m2/g,而且加热这样进行,即由透明石英玻璃形成内区(4)时,玻璃化锋面由内向外移动。
- 石英玻璃坩埚及其制造方法
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