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[发明专利]基座加热方法和基座加热装置-CN201910876843.0有效
发明人：胡云龙;郑波;文莉辉;马振国;崔江华;李江号 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明提供了一种基座加热方法，基座包括第一加热区和至少一个第二加热区，第一加热区和每个第二加热区用于进行分区加热；基座加热方法包括：获取第一加热区当前的加热功率和第二加热区当前的温度；判断第二加热区当前的温度是否满足预设条件本发明还提供了一种基座加热装置。本发明能够提高基座加热的均匀性和稳定性。
基座加热方法装置

[发明专利]基座盖、基座以及基座结构体-CN200710153400.6有效
发明人：松本育也 -专利权人：河淳株式会社
申请日： 2007-09-19 - 公布日： 2008-12-31 - 主分类号： E05B1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种在金属模成形时无需使用多个滑动型芯而能够抑制制造成本的上升的基座盖、基座以及基座结构体。基座结构体(30)是将基座盖(10)和基座(20)组装而成的，基座盖(10)的上部侧的侧框的内侧面形成为随着朝向开口侧耳开口变窄的锥状，基座盖(10)的下部侧的侧框的内侧面形成为随着朝向开口侧而开口变宽的锥状，在基座盖(10)的下部侧的侧框上形成有与基座的卡合突起相卡合的切槽状凹部。
基座以及结构

[发明专利]基座翻转装置-CN202111271486.9在审
发明人：孙海鹏 -专利权人：江苏圣创半导体科技有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基座翻转装置，包括翻转机构，翻转机构包括驱动组件、转动组件，以及可转动地设置在驱动组件和转动组件之间的翻转台，驱动组件包括传动轴，传动轴的一端与翻转台传动连接，转动组件包括转轴，转轴的一端与翻转台传动连接翻转台上设置有夹紧组件，夹紧组件包括安装在翻转台上的安装座，安装在安装座底部的转角气缸以及安装在转角气缸上的夹紧块，夹紧块穿过安装座的顶壁延伸至安装座的上方，翻转台上开设有安装槽，安装槽内安装有第一感应器，本发明的基座翻转装置可快速夹紧并翻转基座，提高基座的翻转速率和加工效率。
基座翻转装置

[发明专利]基座翻转装置-CN202210160649.4在审
发明人：顾斌杰 -专利权人：江苏圣创半导体科技有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基座翻转装置，包括翻转机构，翻转机构包括驱动组件、转动组件，以及可转动地设置在驱动组件和转动组件之间的翻转台，驱动组件包括传动轴，传动轴的一端与翻转台传动连接，转动组件包括转轴，转轴的一端与翻转台传动连接翻转台上设置有夹紧组件，夹紧组件包括安装在翻转台上的安装座，安装在安装座底部的转角气缸以及安装在转角气缸上的夹紧块，夹紧块穿过安装座的顶壁延伸至安装座的上方，翻转台上开设有安装槽，安装槽内安装有第一感应器，本发明的基座翻转装置可快速夹紧并翻转基座，提高基座的翻转速率和加工效率。
基座翻转装置

[发明专利]基座抛光装置-CN202080086930.7在审
发明人：罗伯特·麦金尼;苏珊斯·贡迪;马亨德拉·拜拉普拉·曼朱纳特;盖瑞·B·利德;维纳亚卡拉迪·古拉巴尔;安德鲁·保罗·伊布;埃迪·泽·希恩·黄;维什努·赛·雅拉玛蒂 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：描述了用于真空基座的清洁装置以及清洁用于半导体设备制造中的基座的方法。所述装置具有底板、附接至底板的轴环、设置在轴环上的盖件、以及从轴环延伸穿过盖件、轴环及底板的轴件。至少一个磨料垫附接至盘件，以去除底下基座表面上的积聚物。
基座抛光装置

[发明专利]电子装置基座-CN201910716608.7有效
发明人：沈欣纬;许至徵;黄俊和 -专利权人：和硕联合科技股份有限公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H04M1/04 文献下载
摘要：一种电子装置基座，包括上盖、下盖、底座、第一卡勾组件、第二卡勾组件、电磁阀组件及近场通信元件。上盖具有电子装置容置槽；底座容置在上、下盖之间；第一卡勾组件及第二卡勾组件皆设置在底座，且电子装置容置槽暴露出第二卡勾组件的一部分。当电子装置放置入电子装置容置槽时，第一卡勾组件及第二卡勾组件受电子装置推移而分别沿着彼此垂直的一第一方向移动及第二方向移动，且第二卡勾组件限位第一卡勾组件。电磁阀组件设置在底座上。
电子装置基座

[实用新型]基座预埋件装置-CN202220419551.1有效
发明人：何远;袁作春;朱乃伟;曾纯亮;王松帆;杨甜;陈舒婷;余莹莹 -专利权人：广州市设计院集团有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： E02D27/44 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基座预埋件装置，包括定位支架，预埋板、混凝土层和所述定位支架包括固定组件、第一定位组件和第二定位组件，固定组件用于对第一定位组件和第二定位组件进行限位；第一定位组件用于在固定组件调平后并固定连接于待施工面时对预埋板进行初步定位安装
基座预埋件装置

[外观设计]便携装置基座-CN96323441.2无效
发明人：斯科特·Ｄ·伯特勒;詹姆斯·Ｄ·多莫雷克兹尼;阿尼尔·维玛;阿尔伯特·Ｌ·内格尔 -专利权人：摩托罗拉公司
申请日： 1996-03-25 - 公布日： 1997-11-05 - 主分类号： 13-99 文献下载
摘要：
便携装置基座

[外观设计]便携装置基座-CN96304232.7无效
发明人：斯科特·Ｄ·伯特勒;詹姆斯·Ｄ·多莫雷克兹尼;阿尔尼·维玛;阿尔伯特·Ｌ·内格尔 -专利权人：摩托罗拉公司
申请日： 1996-03-25 - 公布日： 1997-05-28 - 主分类号： 03-99 文献下载
摘要：
便携装置基座

[发明专利]光装置、基座以及基座的制造方法-CN202180040765.6在审
发明人：冲和重;吉村悟士;石井邦幸;川村正信 -专利权人：住友电工光电子器件创新株式会社;住友电气工业株式会社
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：一个实施方式的光装置(1)具备：光元件(6－9)；套筒(40)，包括插座部(41)和插入部(42)；以及基座(2)，具有下板(2A)和侧壁(2B)，该下板(2A)具有供光元件搭载的主面(2b)，该侧壁(
装置基座以及制造方法

[发明专利]基座和具备该基座的MOCVD装置-CN201880058624.5有效
发明人：赵广一;金南绪;崔成哲 -专利权人： TES股份有限公司
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及一种通过涂层来减少支承面上的温度偏差的基座和具备该基座的MOCVD装置。根据本发明一实施例的基座，可以是，具有与基板接触的同时支承所述基板的支承面以及与所述支承面连接的侧面，所述基座构成为被感应线圈感应加热从而对所述基板进行支承的同时加热。可以是，所述基座包括：母材，由能够响应于所述感应线圈而感应加热的材质制成；以及涂层，涂布在所述母材的一部分或者全部表面而形成所述支承面的一部分或者全部，并具有与所述母材的磁性不同的磁性。根据本发明的基座和具备该基座的MOCVD装置，通过减少支承基板的支承面上的温度不均匀性，能够在基板上生长具有更均匀特性的薄膜，通过使用基于MOCVD工艺生长的基板，能够在元件制作时获得高产率。另外，根据本发明的MOCVD装置，能够测定正确的支承面上的温度。
基座具备 mocvd 装置

[实用新型]基座载台、基座组件及研磨装置-CN201720458516.X有效
发明人：谭巧敏;谢祖荣;沙酉鹤;黄涛 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基座载台，所述基座载台包括中心部、位于所述中心部外围的边缘环形部、以及连接所述中心部与所述边缘环形部的若干个连接部；其中，所述中心部内设置有上下贯穿的排水孔，所述连接部内设置有上下贯穿的通孔通过上述方案，本实用新型提供的基座载台在不影响该基座载台向上推顶晶圆的功能的前提下，能快速洗掉研磨清洗水，防止“奔驰标志”形状的缺陷形成。
基座组件研磨装置

[发明专利]基座及具有该基座的散热装置-CN201210501978.7有效
发明人：刘怡昌;洪锐彣;卢建中 -专利权人：富瑞精密组件（昆山）有限公司;鸿准精密工业股份有限公司
申请日： 2012-11-30 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：一种基座，包括底座及若干扣臂，底座具有上表面及与上表面相对的下表面，所述底座的上表面和下表面之间开设收容槽，每一扣臂包括定位部，所述定位部被收容固定于所述收容槽内。本发明还涉及一种具有该基座的散热装置。
基座具有散热装置

[实用新型]基座及应用该基座的显示装置-CN202021803102.4有效
发明人：林明炎 -专利权人：合肥联宝信息技术有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： F16M11/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种基座及应用该基座的显示装置，其中，该基座包括壳体、支撑腿和主动部件，支撑腿围绕壳体内的第一旋转中心间隔排布设置，且支撑腿可转动地连接于壳体的第二旋转中心处，第二旋转中心偏离第一旋转中心该基座的支撑腿与第一旋转中心之间的伸缩距离较小时，基座尺寸较小，便于收纳和运输，支撑腿与第一旋转中心之间的伸缩距离较大时，基座的稳定性较好。
基座应用显示装置

[发明专利]基座-CN202011484053.7在审
发明人：马渊雄一郎;梅田喜一 -专利权人：昭和电工株式会社
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种应用于圆盘状晶圆的表面处理的基座，其中，所述基座具有与所述圆盘状晶圆的背面接触从而对所述圆盘状晶圆的背面进行支撑的至少三个支撑部，所述支撑部设置于所述基座的凸区域，在与所述圆盘状晶圆平行的平面视图中
基座

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