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- [发明专利]电容检测电路、检测方法及电子设备-CN202111197912.9在审
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吴文杰;程涛
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上海艾为电子技术股份有限公司
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2021-10-14
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2022-01-25
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G01R27/26
- 一种电容检测电路、检测方法及电子设备,电路包括控制模块、可变电容模块和积分模块;所述控制模块,包括控制输入端和控制输出端,所述控制输入端与所述积分模块的输入端连接,所述控制输出端与所述积分模块的输出端连接,用于根据所述积分模块上的积分电荷输出与待检测电容的电容值相对应的信号;所述可变电容模块,包括至少一开关电容,所述开关电容的一端与所述控制输入端连接,另一端均根据电容控制信号连接电源电压或地;所述积分模块的输入端还与所述待检测电容的输出端连接,用于实现对待测电容极板上的电荷积分。通过增加可变电容模块可以增大电容检测电路中的电容值,降低电容检测电路的反馈系数,提高电路的稳定性。
- 电容检测电路方法电子设备
- [发明专利]一种微波平衡式可调滤波器-CN201110457540.9有效
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陈建新;陆清源;包志华;周立衡;唐慧;施金;杨永杰
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南通大学
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2011-12-30
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2012-08-15
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H03H7/12
- 本发明公开了一种平衡式可调滤波器,该平衡式可调滤波器包括左右对称设置的第一、二半波长微波传输线和六个可变电容,其中,第一、二、三、四可变电容的型号和参数相同,第五、六可变电容的型号和参数相同,且每个半波长微波传输线均上下对称,第一、二、三、四可变电容的第一端分别连接第一、二半波长微波传输线的四个终点处,第五、六可变电容的第一端分别连接第一、二半波长微波传输线的中点处,六个可变电容的第二端分别接地。实施本发明的技术方案,通过控制终点处加载的可变电容的电容值,能使平衡式可调滤波器的差分通带频率产生调节;通过调节中点处加载的可变电容的电容值,能使平衡式可调滤波器在差分通带频率可调范围内保持较稳定的高共模抑制度
- 一种微波平衡可调滤波器
- [发明专利]可变电容器及半导体工艺设备-CN202011360677.8有效
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陈旭阳
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2020-11-27
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2022-10-21
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H01G7/06
- 本发明一个或多个实施例公开了一种可变电容器及半导体工艺设备,用以解决现有的可变电容器难以快速、连续地调节电容值以及半导体工艺设备中的阻抗匹配效果差的问题。包括相互连接的电容体和电容控制模块;电容体包括相对设置的偏置电极片、相对设置的射频电极片和相对设置的绝缘连接片,偏置电极片、射频电极片及绝缘连接片互相连接围成一密闭空间;密闭空间内填充有指定介质;指定介质的介电常数随施加至偏置电极片的电压变化而变化;电容控制模块用于接收目标电容值,向偏置电极片施加与目标电容值对应的电压。该可变电容器能够实现对电容值的快速、连续调节效果,采用该可变电容器的半导体工艺设备的阻抗匹配效果能够得到提升。
- 可变电容器半导体工艺设备
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