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- [发明专利]改进的深紫外线光刻技术-CN98116275.4无效
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鲁志坚
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西门子公司
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1998-08-11
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1999-04-14
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G03F7/00
- 一种用于制造可以改进光致抗蚀剂分辨率和工艺窗口的抗反射层的方法包括提供一第一体积的有机抗反射化学品;提供一第二体积的光-酸发生元化学品,第二体积是第一体积的0.01%~30%;基本同时混合第一体积的有机抗反射化学品和第二体积的光-酸发生元化学品,以得到一增强抗反射化学品,其酸水平得到提高,其中,增强抗反射化学品酸水平的增加减少了后续在抗反射涂层(ARC)的界面上旋涂深紫光致抗蚀剂层的酸损的影响。
- 改进深紫外线光刻技术
- [实用新型]一种化学品防护面料-CN200820123902.4有效
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许志强;赵阳
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中国纺织科学研究院;中国安全生产科学研究院
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2008-11-25
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2009-11-18
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A41D31/02
- 本实用新型公开了一种化学品防护面料,从外到内依次包括防护织物层(1)、阻隔层(2)和舒适层(3),所述的防护织物层(1)为经过防水拒油处理的并含有永久阻燃纤维的平纹或斜纹织物层;所述的阻隔层(2)为阻燃、耐化学品渗透的聚合物膜;所述的舒适层(3)为经过阻燃处理的天然纤维或人造纤维的针织物层;所述的防护织物层(1)、阻隔层(2)和舒适层(3)之间通过层压复合工艺粘接。所述化学品防护面料为具有优异的耐液体化学品如酸、碱及有机化学品渗透的性能、同时具备阻燃、抗静电性能的多功能化学品防护服面料,适用于制造危险化学品操作现场及事故应急救援现场防护服。
- 一种化学品防护面料
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