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- [发明专利]液处理装置-CN201110458199.9有效
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小西辉明;手塚孝弘
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东京毅力科创株式会社
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2011-12-27
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2012-07-11
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H01L21/67
- 用于对基板(W)进行液处理的多个液处理单元(2)彼此横向排列配置,用于将液处理单元(2)内的气氛气体排出的排气管(3)配置为在该多个液处理单元(2)的下侧并沿着由该液处理单元排列而成的列延伸,供液用的流通控制设备组供液用主配管(5)及排液用主配管(6)设为在该流通控制设备组(4)的下侧并沿着由多个液处理单元排列而成的列延伸,多条供液用分支管自上述供液用主配管(5)分支出来,经由上述供液用的流通控制设备(402)与各液处理单元连接,多条排液用分支管自上述排液用主配管(6)分支出来并与各液处理单元连接。
- 处理装置
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