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- [发明专利]色像差减轻系统和方法-CN202080088353.5在审
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任岩
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ASML荷兰有限公司
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2020-12-16
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2022-08-12
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H01J37/153
- 一种减少像差的方法,包括:基于射束(811)的带电粒子的能量(810)分离(830)带电粒子以形成束波(812至814),这些束波中的每个束波被配置为包括处于中心能级的带电粒子;以及使(950)束波偏转像差校正器包括分散元件(830)(可选地,820),被配置为基于能量(810)来使得射束(811)(例如,带电粒子射束)的组成部分分散开;孔径阵列(840),被配置为从经分散射束形成束波(812至814);以及偏转器阵列(950),被配置为基于形成束波的粒子的中心能级来使束波不同地偏转。
- 色像差减轻系统方法
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