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- [发明专利]线锯的再次开始运转方法及线锯-CN200980128806.6无效
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北川幸司
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信越半导体股份有限公司
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2009-06-25
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2011-06-22
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B24B27/06
- 本发明是一种线锯的再次开始运转方法,在工件的切断中,一边测定带凹槽滚筒的轴向的变位量和工件的温度并加以记录,一边切断工件;在中断工件的切断之后,在再次开始工件的切断之前,通过对带凹槽滚筒与工件供给分别独立地控制温度后的温度调整介质,将带凹槽滚筒的轴向的变位量与工件的温度分别调整为与中断工件的切断时所记录的变位量和温度成为相同,之后,再次开始进行切断。由此,提供一种线锯的再次开始运转方法及其线锯,在根据线锯来实行的半导体晶棒等的工件的切断中,即便由于钢线断线等原因,钢线的切断在途中被中断,也能再次开始进行切断而完成切断,且可抑制加工后的纳米形貌发生恶化
- 再次开始运转方法
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