[发明专利]具有可拉伸回复力件的微加工反射器无效
| 申请号： | 99812840.6 | 申请日： | 1999-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN1128440C | 公开（公告）日： | 2003-11-19 |
| 发明（设计）人： | J·D·德雷克;J·H·杰曼;J·D·格雷德 | 申请（专利权）人： | 西加特技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G11B7/00 | 分类号： | G11B7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 王宏祥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于使一光束转向的微米尺寸的反射器组件(200)。该反射器组件包括一平基部(301)和一与该平基部隔开并基本平行于该平基部而设置的平反射器(220)。该平反射器具有第一和第二端部(220a，220b)以及一延伸于第一和第二端部之间的纵轴线(303)；第一和第二扭转件(306，307)沿该纵轴线延伸并分别连接于第一和第二端部，以允许反射器相对于平基部绕纵轴线在第一和第二位置之间摇动。第一和第二扭转件固定于平基部。反射器至少一部分是由导电材料制成。平基部携带有隔开的第一和第二电极(322，323)，用于在第一和第二位置之间驱动反射器。相对于纵轴线而横向延伸有一系链件(431)，它固定于第一扭转件并连接于平基部。该系链件调节反射器的摇动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 拉伸 回复 加工 反射 | ||
【主权项】：
1.一种用于使一光束转向的微米尺寸的反射器组件，它包括：一平基部；一与该平基部隔开并基本平行于该平基部而设置的平面反射器，该平面反射器具有第一和第二端部以及一延伸于第一和第二端部之间的纵轴线；沿该纵轴线延伸并分别连接于第一和第二端部、相对于平基部绕该纵轴线在第一和第二位置之间摇动的第一和第二扭转件；将第一和第二扭转件固定于平基部的装置；平面反射器至少一部分是由导电材料制成；由平基部所携带的、用于在第一和第二位置之间驱动平面反射器的、隔开的第一和第二电极；一相对于纵轴线而横向延伸的、固定于第一扭转件的系链件；以及将系链件固定于平基部的装置，以使该系链件可调节平面反射器的摇动。
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