[发明专利]化学机械研磨机之载具膜的预防保养方法及实施该方法的装置

摘要

一种化学机械研磨机的载具膜的预防保养方法以及实施该方法的装置。本发明利用激光加工在载具膜上预先打孔，可避免公知载具膜需在研磨载具上手工钻孔的缺点。所述的装置包括一对孔板，可大幅缩减因预防保养而导致化学机械研磨机停机的时间，并可提高效率，简化预防保养程序。$#!

主权项

1.一种化学机械研磨机的载具膜的预防保养方法，包括下列步骤：(a)一化学机械研磨机上，其具有一研磨主轴、可拆装地设置于该研磨主轴上的一研磨具，其中该研磨载具具有数个抽气孔、一可拆装的导环以及一载具膜，用激光预先加工所述的载具膜上与该抽气孔对应的数个孔洞；(b)当该化学机械研磨机需预防保养时，将该研磨载具从该研磨主轴上拆下；(c)将该导环从该研磨载具拆下且去除原有的载具膜后，对该研磨载具进行清洁处理；(d)将新的载具膜与对孔板对准，其中该对孔板上具有与该抽气孔对应的数个第一销孔，且在每一第一销孔上设有一固定销，当该载具膜与该对孔板对准时，每一固定销穿过该孔洞；(e)将该载具膜与该对孔板一起放置在该研磨载具上，使每一固定销依序穿过对应的孔洞、抽气孔；(f)将该载具膜粘贴在该研磨载具上，且移去该对孔板；以及(g)将该导环安装至该研磨载具后，将该研磨载具安装至该研磨主轴上。