[发明专利]净化含有N2O、CnHm和/或NOX杂质的低温流体的方法无效
| 申请号： | 99125028.1 | 申请日： | 1999-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN1097473C | 公开（公告）日： | 2003-01-01 |
| 发明（设计）人： | D·盖里;S·莫利奥;D·弗尔尼斯 | 申请（专利权）人： | 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;C01B3/50 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含有N2O、CnHm或NOX杂质的低温流体，特别是氩、氮、氦或氧的净化方法，其中通过使要净化的所述低温流体与平均尺寸小于或等于1.5mm、优选为0.8mm至1.1mm的吸附剂颗粒接触来除去所述杂质。然后回收杂质含量小于100ppb、优选小于10ppb的净化过的低温流体。该方法可用于制备特别要用于电子领域的超纯气体。 | ||
| 搜索关键词： | 净化 含有 n2o cnhm nox 杂质 低温 流体 方法 | ||
【主权项】：
1.含有选自N20、CnHm和NOX的杂质的低温流体的净化方法，其中：(a)通过使要净化的所述低温流体与至少一种吸附剂颗粒接触而脱除在要净化的所述低温流体中所含的至少一些杂质，所述颗粒的平均尺寸小于或等于1.5mm；和(b)回收所述杂质含量少于100ppb的净化过的低温流体。
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