[发明专利]综合型集成电路高温动态老化装置有效

专利信息
申请号: 98118105.8 申请日: 1998-07-30
公开(公告)号: CN1110847C 公开(公告)日: 2003-06-04
发明(设计)人: 曹骥 申请(专利权)人: 曹骥
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 杭州天正专利事务所 代理人: 王兵
地址: 310021 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种用于集成电路高温动态老化的装置,包括壳体。壳体内装有高温箱、老化电源、系统电源、老化板、示波器,一个安装有专用老化软件的主控计算机、下位机、信号发生、信号驱动、二级老化电源程控发生装置组成的信号控制电路和信号回检、二级电流检测装置、示波器、显示器组成的信号回检电路,老化信号经老化板编程选通加到试品输入端进行动态老化,回检信号经选通后,分别在示波器、显示器上显示数据、波形,可广泛应用于集成电路生产使用厂、所。
搜索关键词: 综合 集成电路 高温 动态 老化 装置
【主权项】:
1、一种综合型集成电路高温动态老化装置,由一个信号控制电路控制至少一个置于高温烘箱⑩环境中的老化板,老化板装载有试品,该信号控制电路具有:一个模拟、数字信号发生装置,该装置①发生并输出集成电路老化所需要的模拟、数字信号,至信号驱动装置②,信号驱动装置②连接老化板③,其特征在于该信号控制电路还具有:一个安装有专用老化软件的主控计算机④,该主控计算机④至通讯接口⑤连接一个由单片机组成的下位机⑥,下位机⑥还连接至少一个模拟、数字信号发生装置①,信号回检和二级电源回检装置⑦连接至少一个二级老化电源⑧,该二级老化电源与特定的老化板对接;所述二级老化电源⑧在接到下位机⑥的输出电压程控信号后,向老化板馈送试品工作电压;所述模拟、数字信号发生装置①接到下位机⑥的信号后编辑成老化数据、图形信号至信号驱动装置②,信号回检和二级电源回检装置⑦和老化板③上的试品连接,该装置⑦分别通过下位机选通阵列开关接示波器⑨,单独显示试品输出端的工作状态;该装置⑦二级电流回检置的输入端和老化板上的二级电源输入端连接,通过下位机⑥接通讯接口⑤,将二级电源测试数据回送到主控计算机。
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