[发明专利]一种改进的分离和回收全氟化合物气体的方法和系统有效
申请号: | 98105134.0 | 申请日: | 1998-01-13 |
公开(公告)号: | CN1193619A | 公开(公告)日: | 1998-09-23 |
发明(设计)人: | Y-E·李;J·帕甘尼斯;D·瓦萨罗;G·K·弗莱明 | 申请(专利权)人: | 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司 |
主分类号: | C07B63/00 | 分类号: | C07B63/00;B01D53/00;B01D61/00;H01L21/02 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 孙爱 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供的是从气体混合物中回收至少一种全氟化合物气体的方法和系统。本发明的一个方法实施例包括提供包括至少一种全氟化合物气体和至少一种载运气体的气体混合物,该气体混合物处于一个预定压力;提供至少一个具有一个进料侧和一个渗透侧的粒度选择膜;使至少一个膜的进料侧与该气体混合物接触;在一个基本上等于预定压力的压力下从膜的进料侧提取一种作为不渗透流的主要包括至少一种全氟化合物气体的已浓缩的气体混合物;及从膜的渗透侧提取一种作为渗透流的主要包括至少一种载运气体的贫化气体混合物。 | ||
搜索关键词: | 一种 改进 分离 回收 氟化 气体 方法 系统 | ||
【主权项】:
1.一种从气体混合物中回收至少一种全氟化合物气体的方法,该方法包括步骤:a)提供一种包括至少一种全氟化合物气体和至少一种载运气体的气体混合物,所述气体混合物处于第一压力和第一温度;b)提供一个具有一个进料侧和一个渗透侧的第一膜,该膜优选渗透载运气体,其选择率SEL,定义为DcSc/Dpsp,大于1.0。其中,Dp是一种全氟化合物气体的流动选择率Sp是该全氟化合物气体的溶度的选择率Dc是一种载运气体的流动选择率Sc是该载运气体的溶度选择率c)使所述膜进料侧与所述气体混合物接触;d)在基本上等于所述预定压力下从所述膜进料侧提取第一不渗透流,它是一种主要包括至少一种全氟化合物气体的已浓缩的气体混合物,及e)从所述膜的渗透侧提取作为渗透流的一种主要包括至少一种载运气体的贫化气体混合物。
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