[发明专利]空气质量流量计

摘要

本发明公开了一种改进的测量元件和设有这种测量元件的空气质量流量计。改进的测量元件上设有温度传感器，其用于检测用热电阻上的热效应表示的标准温度，所述温度传感器形成在由支撑衬底的构件构成的热传输通道上，在所述衬底上形成测量空气流率的热电阻，在测量元件上还设有检测空气温度的空气温度传感器，其形成在衬底上并处于与热电阻接触的空气流线之外。

主权项

1、一种空气质量流量计，包括：一个衬底(2)，在该衬底(2)上形成一个用于测量空气流率的热电阻(3)，该衬底(2)被设置在一个进气管(10)中；一个包括信号处理电路(13b)的外部电路(13)，用于向所述热电阻(3)提供电流并通过计算来确定空气流率；由所述进气管(10)和设置在该进气管(10)中的分管(11)支撑的支持件(12)，该支持件(12)支撑所述衬底(2)和所述外部电路(13)，以便将该外部电路(13)配置在比所述衬底(2)更接近于该进气管的主体的位置；一个衬底温度传感器(5)，其形成在外部电路(13)和热电阻(3)之间的衬底(2)上以便与空气热隔绝，用于检测该衬底的温度；所述信号处理电路(13b)基于由衬底温度传感器(5)检测出的衬底温度补偿所述空气流率；和一个用于检测空气温度的空气温度传感器(4b)，该空气温度传感器(4b)被形成在衬底(2)上的禁止受到由加热电阻(3)加热的空气影响的区域上，并且根据所检测到的空气温度和检测到的衬底温度来校正空气流率。