[发明专利]在光学基片上蒸镀镀膜的真空镀膜设备无效
| 申请号： | 97111505.2 | 申请日： | 1997-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1130469C | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | Ｒ·苏特 | 申请（专利权）人： | 萨蒂斯真空工业销售股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛,蔡民军 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 在用于在光学基片如塑料眼镜片表面上蒸镀镀膜的真空镀膜设备中，光学基片被夹紧在支架上，支架本身在一个可抽成真空的容器内在可更换的蒸发源的上方或下方，支架由回转架装置构成，并有多个围绕一块圆形支承板(23)设置的径向回转架，它们分别支承在一根临时可旋转180°的转轴上，其中，每一个回转架包括用于夹紧地固定一个要双面镀膜的基片的装置，或用于固定两个要单面镀膜的基片的装置，以及，在回转架(21)或转轴(22)上连接有用于同时回转全部回转架的回转机构。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 基片上蒸镀 镀膜 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.用于在光学基片表面蒸镀镀膜的真空镀膜设备，光学基片可被夹紧在支架上，支架本身位于一个在至少一个蒸发源的蒸发区的可抽成真空的容器内，其中，支架由回转架装置构成，并有多个围绕一块圆形支承板设置的径向回转架，这些径向回转架分别支承在一根暂时可旋转180°的转轴上，以及，每一个回转架包括用于夹紧地固定一个要双面镀膜的基片的装置，或用于固定两个要单面镀膜的基片的装置；在该转轴上连接有用于同时回转全部回转架的回转机构；其特征为：该回转机构包括一个从支承板(23)圆周凸起的齿环(25)，在该齿环(25)中啮合有各个在回转架(21)的转轴(22)上的传动齿轮(24)，这些传动齿轮(24)同时啮合在另一个可旋转的相配齿环(26)中，该相配齿环(26)可暂时由回转架装置(3)的外部电机传动机构驱动，以便在该相配的齿环(26)相对于齿环(25)旋转时，该回转架(21)迅速旋转180°。
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