[发明专利]坩锅的固定方法及其采用的支承底座和支承底座组装设备无效
| 申请号： | 97111421.8 | 申请日： | 1997-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1083077C | 公开（公告）日： | 2002-04-17 |
| 发明（设计）人： | 山崎昌一;簗场三千雄;田口裕章;热海贵;降屋久 | 申请（专利权）人： | 三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社;三菱麻铁里亚尔株式会社 |
| 主分类号： | F16M3/00 | 分类号： | F16M3/00;C30B15/10;F24C15/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周备麟,林长安 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种在安全性、简易性及速度方面对将坩锅1固定到单晶拉制设备之支承底座10上的操作进行的改进。在将坩锅1固定到支承底座10的方法中，支承底座10被分成一个底段11和一个可装配到底段11上的鼓形段12，坩锅1安装在底段11上。通过将鼓形段12装配到底段11上而组装成支承底座10。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 方法 及其 采用 支承 底座 组装 设备 | ||
【主权项】：
1.一种将坩锅固定到单晶拉制设备的支承底座上的方法，所述单晶拉制设备装备一个存放半导体熔料的坩锅以及一个支承所述坩锅的支承底座，所述方法的特征在于：将所述支承底座划分为底段和能固定到所述底段上的鼓形段，将所述坩锅安装到所述底段上；以及通过利用一个趋近驱动装置将所述鼓形段沿向上方向移动来将所述鼓形段固定到所述底段上以组装该支承底座。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社;三菱麻铁里亚尔株式会社，未经三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社;三菱麻铁里亚尔株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/97111421.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：阻垢阻燃无腐蚀防沸防冻液及其制作方法
- 下一篇：图象编码数据再编码设备
