[发明专利]肟磺酸酯及其作为潜在磺酸的应用

摘要

本发明涉及式I肟磺酸酯作为潜在酸给体的应用(特别是在波长大于390nm情况下)，以及这些化合物在生产光刻胶中的应用其中m为0或1，以及x为1或2；R1代表，例如，取代苯基，R2的定义同R1或代表未取代苯基，C1-C6烷酰基，未取代或取代的苯甲酰基，C2-C6烷氧羰基或苯氧羰基；或者，如果需要，R1和R2与CO基团一同成环，当x为1时，R3代表，例如，C1-C18烷基，苯基或菲基，基团苯基和菲基为未取代的或取代的，或者，当x为2时，R3代表，例如，C2-C12亚烷基，亚苯基或氧联二亚苯基，基团亚苯基和氧联二亚苯基为未取代的或取代的。

主权项

1.一种光活化组合物，该组合物包括a)至少一种在酸作用下能够交联的化合物，和/或b)至少一种在酸作用下溶解性能被改变的化合物，和c)至少一种作为光引发剂的式I化合物：其中m为0或1且x为1或2；R1代表被一个或多个OR4和/或SR4基团取代的苯基，取代基OR4和SR4通过基团R4或与苯环上的一个碳原子能形成5-或6-元环，其条件是当苯环被甲氧基取代时，环上必须存在至少一个另外的取代基，或者R1代表萘基，蒽基或菲基，基团萘基，蒽基和菲基为被OR4和/或SR4取代，取代基OR4，和SR4通过基团R4或与萘基，蒽基或菲基环上的一个碳原子能形成5或6元环，或者R1代表杂芳基，该基团为被OR4和/或SR4取代，取代基OR4和SR4通过基团R4或与杂芳基环上的一个碳原子能形成5-或6-元环；R2是C2-C6烷氧羰基，CN，C1-C4卤代烷基，S(O)nC1-C6烷基，或未取代的或C1-C12烷基-取代的S(O)nC6-C12芳基，其中n为1或2；或者，如果合适，R1和R2与CO基团一同形成5-或6-元环，该环为被OR4或SR4取代，并且该环另外还可被O，S，NR5和/或被CO间断，而且该环可与一个或多个苯并基团稠合；当x为1时，R3代表C1-C18烷基，苯基-C1-C3烷基，樟脑基，C1-C10卤代烷基，苯基，萘基，蒽基或菲基，所述苯基，萘基，蒽基，和菲基为未取代的或被一个或多个卤素，C1-C4卤代烷基，CN，NO2，C1-C16烷基，苯基，OR4，COOR7，-OCO-C1-C4烷基，SO2OR7和/或被R5R6N取代，或者，当x为2时，R3代表C2-C12亚烷基，亚苯基，亚萘基，二亚苯基或氧联二亚苯基，所述亚苯基，亚萘基，二亚苯基或氧联二亚苯基为未取代的或被C1-C12烷基取代；R4代表氢，C1-C12烷基，该烷基为未取代的或被苯基，OH，C1-C12烷氧基，C1-C12烷基磺酰基，苯磺酰基，(4-甲基苯基)磺酰基和/或被C2-C6烷酰基取代，并且该烷基另外还可被-O-间断，或者R4代表苯基；R5和R6各自独立地代表其它的氢或C1-C12烷基，该烷基为未取代的或被OH，C1-C4烷氧基，C1-C12烷基磺酰基，苯磺酰基，(4-甲基苯基)磺酰基和/或被C1-C6烷酰基取代，并且该烷基另外还可被-O-间断，或者R5和R6代表苯基，C2-C6烷酰基，苯甲酰基，C1-C6烷基磺酰基，苯磺酰基，(4-甲基苯基)磺酰基，萘磺酰基，蒽磺酰基或菲磺酰基，或者R5和R6与它们所键合的氮原子一同形成5-，6-或7-元环，所述环可被-O-或被-NR4-间断；以及R7代表C1-C12烷基，该烷基为未取代的或被OH和/或被C1-C4烷氧基取代，并且该烷基另外还可被-O-间断。