[发明专利]将放电约束在互作用空间内的约束装置

摘要

等离子体蚀刻装置包括一叠彼此隔开并在它们之间形成狭缝的石英圆环，放在包围所述装置的两个电极之间的、所述装置运行时其中形成等离子体的互作用空间的位置上。狭缝的尺寸选择得能够保证从互作用空间离开的用过的气体离开狭缝时，通过与壁部的碰撞将其中的带电粒子中和。采用两个频率不同的电压源，以彼此隔离的方式给所述电极施加电压。

主权项

1.一种将放电基本上约束在互作用空间的约束装置，包括：正圆筒体，它的各部分限定了多个从其内表面通到其外表面的分开的平行通道，所述通道在与穿过其中的气流方向垂直的方向上是彼此隔开的；所述约束装置放在一个等离子体处理装置中彼此隔开的电极之间，所述分开的平行通道是这样均衡配置的，使得通过在一气态介质中以射频引起的放电所产生的带电粒子穿过所述约束装置的分开的平行通道时将所述带电粒子中和，从而将放电基本上约束在所述互作用空间内。