[发明专利]数字式平衡装置

摘要

诸如加速度仪(10)的数字式力平衡装置被数字反馈回路(76、78、30、36、24和26、28、30、32、34、22)充电。该装置将数字式静电施力器直接与伺服电路盘(14、16)结合。加速度仪(10)有一个悬挂在电极两侧之间悬臂上的底座电极(12)设置在加速度仪上。每侧电极(14、16)包括多个静电盘(40)，静电盘尺寸为面积乘二进制权重。在底座电极(12)中的感应信号通过A/D转换器(32)在反馈回路中被量化，该信号激发适当数量的盘(14、16)向底座(12)施力，以使底座(12)回到初始位置。

主权项

1、一种用于探测外界力的数字式力平衡装置，包括：一个底座；一个衬底；两个设置在跨在底座上的衬底上的电极，其中每个电极被分成多个单元，而每个单元有一个极小的位面积；一个获得数字信号的回路，数字信号的值代表在每个相等的时间单元内在外界力的作用下底座的速度，其中，外界力从零位置移动底座，并且回路也产生一个恒定电压信号；由此根据数字信号值，回路将恒定的电压信号施加到选定的单元上，激励一定数目的单元，单元的数目以促使底座返回到零位置需要的力而定，而力来自于恒定电压信号施于单元产生的电场。