[发明专利]表面缺陷的检测方法及其装置无效
| 申请号： | 95102598.8 | 申请日： | 1995-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1149718A | 公开（公告）日： | 1997-05-14 |
| 发明（设计）人： | 风间彰;大重贵彦;河村努;的场有治 | 申请（专利权）人： | 日本钢管株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范本国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的表面缺陷检查方法是使偏振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强(I)；根据上述参数(ψ、Δ)和光强(I)，判定缺陷等级和种类。本发明的表面缺陷检测装置包括使偏振光照射被检查表面，测定上述参数(ψ、Δ)的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强(I)的装置；将上述反射光的ψ、Δ、I的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检测 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种表面缺陷的检测方法，包括以下工序：(a)使偏振光照射在有表面缺陷的试样上，预先求取表面反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)特性的工序；(b)使偏振光照射在欲检查试样的被检查表面上，求取表面反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)的工序；(c)将在工序(b)中获得的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)和在工序(a)中获得的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)特性进行比较的工序；(d)根据在工序(c)中获得的结果，确定表面缺陷等级的工序。
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