[发明专利]液晶显示玻璃的透明导电层和定向膜的厚度和折射率的测量方法

摘要

本发明涉及一种在液晶显示玻璃基片上，对透明导电层和定向膜的厚度和折射率进行测量的方法，其过程是将待测的液晶显示玻璃在去掉透明导电层或定向膜后，直接放在另一块同样的玻璃基片上，然后应用椭偏仪，在两个不同的入射角下测量椭偏参数，并计算出整体样品的两个不同的复折射率。将整体样品中的一块玻璃换成含有透明导电层或定向膜的液晶显示玻璃，应用椭偏仪，在同样的两个入射角下测量出椭偏参数，以两组本底的复折射率为已知参数，即可计算出待测薄层的折射率和厚度。

主权项

1、一种测量液晶显示玻璃上的透明导电层或定向膜的厚度和折射率的方法，其特征在于测量方法包括下列各步骤：(1)、将两块待测液晶显示玻璃背对背迭在一起，并放在椭偏仪的平台上，下面一块液晶显示玻璃的透明导电层向下，上面一块的透明导电层已被腐蚀掉；(2)、应用椭偏方法，选定一入射角φ，测量椭偏参数Δ和ψ；(3)、将上述(1)中两块迭放一起的液晶显示玻璃当作整体样品，根据φ和测量值Δ和ψ，利用下述联立方程(1)解出n和k，则整体样品的复折射率为n-jk，此即下述步骤(6)中的N2；(4)、将步骤(1)中的上面一块液晶显示玻璃换成一块含有待测透明导电层或待测定向膜的玻璃，使导电层或定向膜向上；(5)、应用椭偏方法，采用与步骤(2)相同的入射角φ，测量一组新的椭偏参数Δ′和ψ′；(6)、将上述步骤(3)得出的整体样品的折射率N2=n-jk作为衬底的折射率，利用下述复数方程(2)计算待测透明导电层或待测定向膜的折射率N1和厚度d：式(2)中的rip、ris(i=1、2)和δ由下式定义：式(3)中的Ni和φi(i=0，1，2)分别为：No=1，φo=入射角φN2=n-jk，N1为待测导电层或待测定向膜的折射率，Nisinφi=Nosinφo(i=1，2)……(4)从入射角φ，入射波长λ，已知的N2=n-jk，以及新测量的Δ′和ψ′，就可以计算出N1和d，其中d为一系列周期值；(7)、仍然应用椭偏方法，采用一个不同于上述φ的入射角φ*，重复上述(1)-(6)的测量和计算，将再得出另一组N*1和d*；(8)、待测透明导电层或待测定向膜的折射率由N1和N*1的平均值确定，其厚度由d和d*(皆为周期值)的最小最接近值确定。