[发明专利]对于表面进行光学扫描用的装置无效
| 申请号： | 93106985.8 | 申请日： | 1993-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN1080419A | 公开（公告）日： | 1994-01-05 |
| 发明（设计）人： | G·E·范洛斯马伦 | 申请（专利权）人： | 菲利浦电子有限公司 |
| 主分类号： | G06K7/10 | 分类号： | G06K7/10;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,程天正 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明所述的装置用于以物镜(10)形成的焦点(11)对表面(2)进行光学扫描。该物镜以电磁方式悬置在静止不动的线圈系统(14)中，此线圈系统可驱使物镜以五个自由度运动。光束(21)经过转镜(22)和扫描透镜(23)之后被整形为准直光束(24)，此准直光束靠转镜的转动可平行其自身移动，以便跟踪物镜的运动。 | ||
| 搜索关键词： | 对于 表面 进行 光学 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1、一种对表面进行光学扫描用的装置，它包括用于提供辐射光束的光源、安装在物镜系统上面以将光束聚焦在该表面上的物镜，以及用以使物镜系统在给定行程范围内移动的驱动机构，其特征在于，在光源和物镜之间光束的行进路程中安装有其长度约等于行程长度的光焦度元件，而且该装置包括安装在光源和上述光焦度元件之间的扫描机构，以便透过光焦度元件进行光束扫描，借以将光束平行其自身在物镜系统行程数量级的距离范围内移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于菲利浦电子有限公司，未经菲利浦电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/93106985.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制冷剂回收系统及其回收方法
- 下一篇：偏置的冷却管散热片
