[发明专利]对于表面进行光学扫描用的装置

权利要求书

1、一种对表面进行光学扫描用的装置，它包括用于提供辐射光束的光源、安装在物镜系统上面以将光束聚焦在该表面上的物镜，以及用以使物镜系统在给定行程范围内移动的驱动机构，其特征在于，在光源和物镜之间光束的行进路程中安装有其长度约等于行程长度的光焦度元件，而且该装置包括安装在光源和上述光焦度元件之间的扫描机构，以便透过光焦度元件进行光束扫描，借以将光束平行其自身在物镜系统行程数量级的距离范围内移动。

2、如权利要求1所述的装置，其特征在于，光束被聚焦在位于光源一侧的光焦度元件的焦点上。

3、如权利要求2所述的装置，其特征在于，该焦点基本上位于光束被扫描时所围绕的光轴上。

4、如权利要求1，2或3所述的装置，其特征在于，该扫描机构包括旋转镜。

5、如权利要求1，2或3所述的装置，其特征在于，该扫描机构包括用以使光源转动的机构。

6、如上述权利要求中任一权利要求所述的装置，其特征在于，在辐射光束的光路中至少安装一块柱面光学元件。

7、如权利要求1至6中任一权利要求所述的装置，其特征在于，光焦度元件包括透镜。

8、如权利要求7所述的装置，其特征在于，该透镜是由想象中的圆形透镜的长条形非中心部分加工成的，而且光束在圆形透镜的光轴上聚焦。

9、如权利要求1至6中任一权利要求所述的装置，其特征在于，光焦度元件包括凹面反射镜。

10、如权利要求1至9中任一权利要求所述的装置，其特征在于，在光源和物镜之间装有平面反射镜。

11、如上述权利要求中任一权利要求所述的装置，其特征在于，该装置包括用以确定由扫描机构发出的光束方向的检测器，该检测器的输出接在物镜驱动机构的控制输入端。

12、如上述权利要求中任一权利要求所述的装置，其特征在于，该装置包括用以产生代表物镜系统方向信号的四象限检测器。

13、如上述权利要求中任一权利要求所述的装置，其特征在于，物镜的周围装有大致为锥状的圆环形反射镜，用于将光束的一部分反射向检测机构，以便产生出代表物镜系统位置和方向的信号。

14、如权利要求13所述的装置，其特征在于，用以驱动物镜系统运动的永久磁铁装在物镜系统中，而且驱动机构还包括静止不动的线圈系统，用以按电磁方式无接触地驱动物镜系统沿三条左右垂直的轴线移动及绕上述轴线倾斜，该线圈系统包括位于物镜系统两侧行程长度范围内的两列互相平行的线圈时，而且每一线圈对又包括沿物镜光轴方向一个装在另一个上方的两个线圈。