[实用新型]一种真空或充气的操作装置

摘要

本实用新型公开了一种在洁净工艺中使用的真空或充气操作装置。它包含既可以分隔、又可以连通的内外两个腔体。分隔时可在内腔体中进行物件的工艺处理。连通时则可在外腔体中进行待处理与已处理物件的装卸。外腔体中装有载物台与机械手，可供贮存与装卸物件。这样的装置可以在多次处理物件中连续保持腔体的真空或纯净，提高了工作效率，并保证了工艺的洁净。

主权项

1、一种真空或充气的操作装置，其特征在于，它由内罩与外罩以及内腔底座与外腔底座组成，内罩的罩口设在外罩罩口之内，它们分别位于内、外腔底座的上方，内外两罩间有密封接口，外腔底座有向上开口的框壁以及可与外罩罩口压接密封的框口，外腔底座中装有用以移动物件的机械手与载物平台，机械手的操纵柄设在外腔底座之外，在外腔底座上还有一根垂直密封穿接的升降传动柱，其露出底座外的部分是传动柱的传动柄，底座内的部分是支撑着内腔底座的升降柱，在内腔底座上开有通气孔，其下孔口连接可伸缩的通气管，经外腔底座穿接至腔外，并由阀门控制通气管的气路，选通至抽气泵接口、特定气源接口、大气口或是封闭，在内外腔之间还设有一个可以启闭的电磁阀。