[发明专利]磁盘表面参数测量仪

摘要

本发明涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪，属测量仪器技术领域。本发明利用激光外差非接触测量方法，实现对磁盘盘片几何参数的测量。本仪器用气浮导轨驱动光学传感器作径向进给运动，用气浮轴承驱动被测磁盘盘片作回转运动，当被测盘片相对于光学传感器在垂直于测量轴的平面内作回转运动时，光学传感器沿导轨作径向运动，并对盘片作径向扫描，此时就获得整个盘片的信息。本测量仪可以同时对金属与非金属盘片进行盘片面形——平面度的测量，又能对中等规模轮廓波度及盘片外径至内径的轮廓进行测量。

主权项

1.一种磁盘表面参数测量仪，包括气浮导轨及导轨驱动系统、气浮轴承及轴承驱动系统、气浮平台、空气净化器、减压调压系统，其特征在于还包括磁盘夹持器、光学传感器、采样控制器以及计算机控制和数据处理系统，磁盘夹持器上放有被测磁盘，并由气浮轴承及轴承驱动系统使其转动，光学传感器置于气浮导轨上，由导轨驱动系统使其作直线运动，气浮轴承和气浮导轨都置于气浮平台上，采样控制器连接气浮轴承和计算机控制以及数据处理系统，计算机控制和数据处理系统与采样控制器和气浮轴承相连接，同时也与气浮导轨相连接。