[发明专利]磁盘表面参数测量仪

权利要求书

1、一种磁盘表面参数测量仪，包括气浮导轨及导轨驱动系统、气浮轴承及轴承驱动系统、气浮平台、空气净化器、减压调压系统，其特征在于还包括磁盘夹持器、光学传感器、采样控制器以及计算机控制和数据处理系统，磁盘夹持器上放有被测磁盘，并由气浮轴承及轴承驱动系统使其转动，光学传感器置于气浮导轨上，由导轨驱动系统使其作直线运动，气浮轴承和气浮导轨都置于气浮平台上，采样控制器连接气浮轴承和计算机控制以及数据处理系统，计算机控制和数据处理系统与采样控制器和气浮轴承相连接，同时也与气浮导轨相连接。

2、如权利要求1所述的磁盘表面参数测量仪，其特征在于所述的光学传感器的光源为稳频激光器，由稳频激光器发出的光经过反射镜、分光镜后分成两束，其中被分光镜透射的光束作为参考光，此参考光经过反射镜的反射和分光镜分射，入射到光电接收器上，另一束被分光镜反射的光入射到声光调制器，经声光调制器衍射后的正一级光则作为测量光束，此测量光束经过分光镜、透镜以及45°分射棱镜的作用，入射到被测磁盘片上并聚成一个光点，这个光点经磁盘表面反射后，再经过45°反射棱镜、透镜和分光镜的反射，又经过分光镜的透射，最后与参考光在光电接收器上汇合，形成干涉信号。