[其他]双向微动调心装置无效
| 申请号： | 87217516 | 申请日： | 1987-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN87217516U | 公开（公告）日： | 1988-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王江;邹自强 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国科学院合肥专利事务所 | 代理人： | 赵乌兰,童建安 |
| 地址： | 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种用于高精度测量的双向微动调心装置，由调节螺杆，弹性元件，立柱，上台面，底座组成。以弹性元件的弹性比作为其传动比，用刚度很小的弹性元件推动刚度相对很大的立柱，利用立柱的弹性形变，达到调节的目的，采用三根或三根以上立柱，避免调节中的倾斜误差，并使二个方向的调节相互独立成为可能。本实用新型具有结构简单，调节方便，成本低，测量精度高，行程大，灵敏度可变的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 双向 微动 装置 | ||
【主权项】：
1、一种双向微动调心装置，其特征在于该装置的底座[5]上有立柱[3]，立柱[3]支撑上台面[4]、弹性元件的二端分别与上台面[4]和调节螺杆[1]接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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