[实用新型]一种针对气控部件寿命测试的高精度多模安全平台有效
| 申请号： | 202321229090.2 | 申请日： | 2023-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN219736734U | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 赵志辉 | 申请（专利权）人： | 星奇（上海）半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李云 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种针对气控部件寿命测试的高精度多模安全平台，包括：测试柜，其上设有测试室，测试室的前侧设有密封柜门，密封柜门上设有观察窗，测试室内部固定有进气管、出气管，进气管的进气端与外部的特定气体源连接，进气管另一端和出气管一端连接有待测气控部件，出气管的另一端与外部的尾气处理装置连接，进气管上安装有压力表，测试室顶端安装有抽气管和负压表；抽气泵，其安装在抽气管的出气口上；控制器，其安装在测试柜的底部，控制器均与待测气控部件、负压表、抽气泵电连接。该装置能够对气控部件的寿命进行测试，并且，负压表能够检测特定气体是否泄露到测试室中，以保证测试人员在打开密封柜门时的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 针对 部件 寿命 测试 高精度 安全 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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