[实用新型]用于检测气体中金属元素的取样系统有效
| 申请号： | 202321165238.0 | 申请日： | 2023-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN219915023U | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈刚军;葛玉英;韩雪;付乾坤 | 申请（专利权）人： | 烟台万华电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22;G01N1/42 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 胡婷婷;杨仁波 |
| 地址： | 264006 山东省烟台市经济技*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了用于检测气体中金属元素的取样系统，包括：气体进入管路，用于提供样品气或吹扫气；取样装置，包括气体容纳单元以及围绕在气体容纳单元外部的冷媒容纳单元，样品气或吹扫气由所述气体进入管路进入气体容纳单元，所述气体容纳单元设有延伸至外部的气体排空管路，所述气体容纳单元和冷媒容纳单元之间可分离；冷媒提供单元，用于提供不同温度的冷媒进入所述冷媒容纳单元。本实用新型有效实现了对低沸点的电子级气体中的痕量金属离子进行取样。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 气体 金属元素 取样 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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