[实用新型]适用于紫外线灯照射台的吸尘装置有效
| 申请号： | 202320982746.1 | 申请日： | 2023-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN219851294U | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 秦贵明;赵兴 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/04 | 分类号： | B08B15/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 闫学文 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种适用于紫外线灯照射台的吸尘装置，紫外线灯照射台包括坦克链外壳以及位于坦克链外壳之下的灯箱，吸尘装置包括：环形吸尘管、抽风管以及排气装置，环形吸尘管位于坦克链外壳与灯箱之间，环形吸尘管上设有若干个供颗粒物进入的孔洞，环形吸尘管与抽风管的上游端连通，抽风管的下游端与排气装置连接，排气装置中设有抽风机。本实用新型可以吸走坦克链和坦克链外壳摩擦产生的颗粒物，使工作台整洁，保证工作台正常工作，提高晶圆质量，并且保护操作人员的身体健康。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 紫外线 照射 吸尘 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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