[实用新型]一种锌挥发炉用均温喷嘴板有效
申请号: | 202320981604.3 | 申请日: | 2023-04-26 |
公开(公告)号: | CN219752422U | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 王军友;陈鸿杰;杨晓磊 | 申请(专利权)人: | 郑州华晶新能源科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/14 |
代理公司: | 郑州汇诚众远专利代理事务所(普通合伙) 41211 | 代理人: | 刘存波 |
地址: | 450000 河南省郑州市高*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型涉及一种锌挥发炉用均温喷嘴板,包括伸缩腔和阻流板;伸缩腔包括若干节伸缩框;若干伸缩框上下滑动套接设置;阻流板左右间隔设有两个,两个阻流板分别铰接设置在最上侧一个伸缩框的左右两侧。该实用新型中,伸缩腔包括多个伸缩框,当需要调节高度时,可以通过调节伸缩框的高度来改变伸缩腔的高度,从而选取恰当的受喷宽度;除此外,在伸缩腔的上侧设置了阻流板,当出现锌挥发炉左右高度不一致时,可以通过调节单侧的阻流板来保证锌蒸汽离开锌挥发炉的高度一致,从而保证薄膜上的沉积量和沉积宽度。 | ||
搜索关键词: | 一种 挥发 炉用均温 喷嘴 | ||
【主权项】:
暂无信息
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