[实用新型]一种用于XPS对空气敏感样品的转移装置

摘要

本实用新型公开了一种用于XPS对空气敏感样品的转移装置，该转移装置包括样品座、样品盖以及密封圈；底部环形凸缘固定连接于金属底板的顶面；三个U形卡槽固定连接于金属底板的外周侧；顶部环形凸缘固定连接于金属顶板的底面；两个提拉环对称设置且固定连接于金属顶板的外周侧；提拉环用于连接进样室内的弹性销；样品盖罩设于样品座的顶部，底部环形凸缘伸入顶部环形凸缘的内部，并且底部环形凸缘与顶部环形凸缘之间间隙配合；密封圈密封地夹设于顶部环形凸缘与金属底板之间。上述转移装置利用内外压强差的原理，对样品座与样品盖通过抽真空操作使转移装置内腔为负压，从而保证样品的非大气暴露转移。