[实用新型]一种用于XPS对空气敏感样品的转移装置

权利要求书

1.一种用于XPS对空气敏感样品的转移装置，其特征在于，包括样品座、样品盖以及密封圈；

所述样品座包括金属底板、底部环形凸缘以及三个U形卡槽；所述底部环形凸缘固定连接于所述金属底板的顶面，并由所述底部环形凸缘与所述金属底板围成顶部开口的底部空腔；三个所述U形卡槽固定连接于所述金属底板的外周侧；所述U形卡槽用于连接样品托；

所述样品盖包括金属顶板、顶部环形凸缘以及两个提拉环；所述顶部环形凸缘固定连接于所述金属顶板的底面，并由所述顶部环形凸缘与所述金属顶板围成底部开口的顶部空腔；两个所述提拉环对称设置且固定连接于所述金属顶板的外周侧；所述提拉环用于连接进样室内的弹性销；

所述样品盖罩设于所述样品座的顶部，所述底部环形凸缘伸入所述顶部环形凸缘的内部，并且所述底部环形凸缘与所述顶部环形凸缘之间间隙配合；所述密封圈密封地夹设于所述顶部环形凸缘与所述金属底板之间，在所述金属底板和所述金属顶板之间形成密封的样品容置空腔。

2.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述金属底板和所述金属顶板均为圆形板；

所述底部环形凸缘与所述金属底板、以及所述顶部环形凸缘与所述金属顶板均同心设置。

3.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述底部环形凸缘的高度小于等于所述顶部环形凸缘的高度。

4.如权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述底部环形凸缘外侧的所述金属底板的厚度为1.5mm；

所述底部环形凸缘内侧的所述金属底板的厚度、所述金属顶板的厚度、所述底部环形凸缘的高度以及所述顶部环形凸缘的高度均为2mm。

5.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述U形卡槽通过穿装的紧固件固定连接于所述样品托。

6.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，沿所述金属底板的周向，三个所述U形卡槽依次间隔90°分布。

7.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述底部环形凸缘的外径为29.6mm、内径为26.6mm；

所述顶部环形凸缘的内径为30mm、外径为35mm；

所述金属底板的外径为37.6mm；

所述金属顶板的外径为35mm。

8.如权利要求1-7任一项所述的转移装置，其特征在于，所述样品座和所述样品盖均采用不锈钢材料制成。