[实用新型]一种一维运动装置有效
| 申请号： | 202320699086.6 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN219574594U | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 仇文军;袁嘉欣;江旭初 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 卢炳琼 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种一维运动装置，包括基础框架模块、平衡质量模块、工件台模块及驱动模块，基础框架模块包括上表面设置凹槽的基础框架，平衡质量模块包括与凹槽的槽底连接且在X方向上间隔设置的第一质量块及第二质量块，工件台模块位于第一质量块与第二质量块之间，包括承载台及在X方向上贯穿承载台并与其连接的横梁，驱动模块包括连接于平衡质量模块与基础框架模块之间以驱动平衡质量模块沿Y方向运动的第一驱动组件及连接于工件台模块与平衡质量模块之间以驱动工件台模块沿Y方向运动的第二驱动组件。该一维运动装置能够减弱运动台在高加速过程中对框架冲击造成运动精度的损失，实现运动装置的高加速度、高精度并同时具有高动态平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运动 装置 | ||
【主权项】：
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