[实用新型]气浮条偏移检测装置有效
| 申请号： | 202320576622.3 | 申请日： | 2023-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN219810394U | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 焦文彬;郭虎;周学文;王义昌;赵小辉;刘世鹏;赵祥 | 申请（专利权）人： | 甘肃光轩高端装备产业有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 于海峰;刘铁生 |
| 地址： | 741000 甘肃省天水*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供一种气浮条偏移检测装置，包括：机架；至少两个第一距离传感器，至少两个第一距离传感器沿第一方向滑动设置在机架上；至少两个第一距离传感器沿第二方向间隔排布，至少两个第一距离传感器发射的检测信号与第一方向和第二方向所在的平面垂直；其中，第一方向与待检测样品的长度方向一致，第一方向和第二方向所在平面与水平面具有预设角度。本申请的检测装置通过设置第一距离传感器和预设角度，避免了传统人工测量带来的误差，保证了数据的准确度，保证了气浮条处于同一平面及倾斜角度符合要求，避免了玻璃基板污染。同时，至少两个第一距离传感器的设置可对多条气浮条进行测量，检测更加省时省力，提高了检测的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮条 偏移 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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