[实用新型]一种紧凑型汇气组件有效
申请号: | 202320485614.8 | 申请日: | 2023-03-14 |
公开(公告)号: | CN219470169U | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 陈辉;尹强;刘静怡;高英 | 申请(专利权)人: | 上海百雅信息科技发展有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/54;C23C16/455;C23C16/52 |
代理公司: | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人: | 唐海波 |
地址: | 200441 上海市宝山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种紧凑型汇气组件,包括安装板、气路控制组件和多路汇气筒,所述安装板四角设置有固定组件;所述气路控制组件设置有多路,且并列排放固定在安装板表面,结构紧凑,气路清晰,包括进气端口、通断阀、气体流量控制器和快拧接口;所述多路汇气筒包括若干个汇气端口;进气端口与通断阀之间、通断阀与气体流量控制器之间、气体流量控制器与汇气端口之间均通过快拧接口连接;气体经进气端口、通断阀、气体流量控制器,从汇气端口进入多路汇气筒中。 | ||
搜索关键词: | 一种 紧凑型 组件 | ||
【主权项】:
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