[实用新型]一种紧凑型汇气组件有效

专利信息
申请号: 202320485614.8 申请日: 2023-03-14
公开(公告)号: CN219470169U 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 陈辉;尹强;刘静怡;高英 申请(专利权)人: 上海百雅信息科技发展有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C14/54;C23C16/455;C23C16/52
代理公司: 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 代理人: 唐海波
地址: 200441 上海市宝山*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种紧凑型汇气组件,包括安装板、气路控制组件和多路汇气筒,所述安装板四角设置有固定组件;所述气路控制组件设置有多路,且并列排放固定在安装板表面,结构紧凑,气路清晰,包括进气端口、通断阀、气体流量控制器和快拧接口;所述多路汇气筒包括若干个汇气端口;进气端口与通断阀之间、通断阀与气体流量控制器之间、气体流量控制器与汇气端口之间均通过快拧接口连接;气体经进气端口、通断阀、气体流量控制器,从汇气端口进入多路汇气筒中。
搜索关键词: 一种 紧凑型 组件
【主权项】:
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