[实用新型]真空内磁场约束装置及真空镀膜系统有效
| 申请号： | 202320438120.4 | 申请日： | 2023-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN219689825U | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 冯火群;彭孝龙;莫超超 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 徐会娟 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空内磁场约束技术领域，尤其涉及一种真空内磁场约束装置及真空镀膜系统，旨在缓解现有磁场约束装置安全性能低的技术问题。该真空内磁场约束装置包括固定外壳、电磁线圈、永磁铁、电极馈入和水接头；固定外壳具有容纳腔；电磁线圈设置在永磁铁的至少一个侧面，并同永磁铁一起设置于容纳腔内；电极馈入固定于固定外壳的外壁，并与电磁线圈电连接；水接头设有至少两个，固定于固定外壳的外壁，并与容纳腔连通。该真空镀膜系统包括真空内磁场约束装置。通过该真空内磁场约束装置，可以产生约束磁场实现对等离子体的约束，同时循环的冷却水可带走电磁线圈产生的热量，提高了安全性能。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 磁场 约束 装置 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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