[实用新型]一种晶体表面清洗装置有效
申请号: | 202320398818.8 | 申请日: | 2023-03-07 |
公开(公告)号: | CN219483602U | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 徐海洋;肖亚栋;赵杰鑫;解小龙;田光明 | 申请(专利权)人: | 苏州芯海半导体科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 耿彩红 |
地址: | 215623 江苏省苏州市张家港市凤凰*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及晶体清洗技术领域,尤其为一种晶体表面清洗装置,包括超声波清洗箱体,所述超声波清洗箱体的内部下方位置设有清洗篮本体,且超声波清洗箱体的顶端位置卡合安装有组合端盖,所述组合端盖的中部两侧位置均设有限定滑块,且限定滑块的底端固定连接有转向卡块,本实用新型中,通过设置的拦网、组合端盖、清洗篮本体、限定滑块和转向卡块,在实现反向拉伸操作的一组拦网将原本漂浮在清洗篮上方位置的杂质,集中推到清洗篮的两侧位置后,随着组合端盖向外拉出后,一组拦网会同时将拦截到清洗篮两侧位置的杂质捞出,防止工作人员可通过夹具将晶体带出的过程中,露出液面时的晶体出现粘附漂浮杂质的现象的问题发生。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 表面 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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