[实用新型]电容式检测装置

摘要

本实用新型公开一种电容式检测装置，包括工控机、底座、XY轴驱动机构、真空机构，底座上设有吸盘机构，吸盘机构包括吸盘腔和设于吸盘腔上的金属吸盘，金属吸盘上方设有一层透气的绝缘网；真空机构连通吸盘腔；XY轴驱动机构对应设于底座上，XY轴驱动机构上对应设有探针驱动机构；探针驱动机构上设有测试探针，探针驱动机构用于驱动测试探针沿Z轴方向上下运动；工控机连接XY轴驱动机构和探针驱动机构，工控机通过测试探针检测待测板的线路和金属吸盘之间的电容变化来判断线路是否故障。本实用新型技术方案，待测板上方的测试点只需要测试一次即可测出结果，无需每个测试点扎多次，改善待测板表面划痕现象和扎伤现象，保护待测板，且测试效率更高。