[实用新型]尾气管升降微调装置有效
| 申请号： | 202320257732.3 | 申请日： | 2023-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN219366992U | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 雍晓龙;张义颖;何奇 | 申请（专利权）人： | 披刻半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F16L3/10 | 分类号： | F16L3/10;C23C16/44;C23C16/455;F16L3/20 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 坛博光 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高铁新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了尾气管升降微调装置，具体涉及升降微调装置领域，包括安装垫，所述安装垫的顶部固定有金属套，所述金属套的顶部放置有原子层沉积设备尾气管体；本装置设置有管道安装装置，在将原子层沉积设备尾气管体放置在对应的金属套后，通过加固套和转动套对原子层沉积设备尾气管体进行夹持固定，实现了原子层沉积设备尾气管体便于定位和安装的目的，实现了原子层沉积设备尾气管体和加固套之间定位装配较为方便的目的；本装置设置有升降微调机构，螺纹柱转动后可对安装板外侧的支撑高度进行调整，从而实现对原子层沉积设备尾气管体升降微调的目的，并便于让原子层沉积设备尾气管体的首尾位置对准。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 升降 微调 装置 | ||
【主权项】：
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