[实用新型]一种非导电性靶材的线切加工固定装置

摘要

本申请涉及靶材加工技术领域，具体涉及一种非导电性靶材的线切加工固定装置，该线切加工固定装置包括基板以及用于安装基板的旋转台，所述旋转台上设置有与基板相适配的定位凹槽，所述旋转台上可拆卸地安装有至少一个压板，所述基板置入所述定位凹槽后通过所述压板固定。与现有技术相比，本申请通过采用压板+定位凹槽的方式，将基板咬死固定在旋转台上，相对于常规方案中使用混合胶涂抹使基板粘贴固定于旋转台上的固定方式，本申请的固定方式为可拆卸式且更加高效，省略了使旋转台脱胶的步骤，同时，也可以节省脱胶对于基板的损耗以及混合胶体的消耗，拆装操作也更加便利，方便使用者在靶材加工中节省耗材、提升加工效率，具有良好的商业价值。