[发明专利]一种基于磷化铟单晶的制备系统及制备方法在审
| 申请号： | 202311206085.4 | 申请日： | 2023-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN116922243A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 顾正伟 | 申请（专利权）人： | 苏州中砥半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B7/22;B24B27/00;B24B41/06;B24B41/00;B24B41/02 |
| 代理公司： | 苏州闽福专利代理事务所(普通合伙) 32656 | 代理人： | 李聪 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于磷化铟单晶的制备系统及制备方法，涉及磷化铟制备技术领域。本发明包括单晶抛光结构，单晶抛光结构的驱转组件与固定座之间同轴心转动连接，曲面抛光机构均设于活动座表面且与其转动连接，驱转组件与其周侧的多个曲面抛光机构相啮合，单向旋转组件设置于活动座周侧且与活动座转动连接，顶面抛光机构设置于单晶撑托机构正上方，当驱转组件顺时针转动时可推动各个单向旋转组件同步顺时针转动，当驱转组件逆时针转动时可使得活动座上的曲面抛光机构随驱转组件同步逆时针转动。本发明通过单一动力系统可实现多个磷化铟单晶的同步加工制备，大大提高了磷化铟单晶加工制备的效率，满足批量化的加工制备需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磷化 铟单晶 制备 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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