[发明专利]扫描电镜的送样装置和扫描电镜在审
| 申请号： | 202311078144.4 | 申请日： | 2023-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN116798839A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 张茂辉;栗宽 | 申请（专利权）人： | 国仪量子（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;H01J37/18 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 唐华健 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电镜的送样装置以及扫描电镜，所述扫描电镜的送样装置，包括：装置主体，所述装置主体内形成有过度容腔，所述装置主体还设有与所述过度容腔连通的连接口和送样口，所述装置主体安装有用于对所述连接口选择性地封闭的遮挡板；抽气结构，所述抽气结构安装于所述装置主体且用于对所述过度容腔进行抽气；密封盖，所述密封盖可活动地安装于所述送样口处且用于选择性地封闭所述送样口；送样结构，所述送样结构包括送样部和样品托盘，所述送样部可活动地穿设于所述密封盖，所述送样部位于所述过度容腔内的一端与所述样品托盘相连。本发明实施例的扫描电镜的送样装置，易取放样品，且可实现快速送样和换样，使用效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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