[发明专利]光刻镜头在审
| 申请号： | 202311053276.1 | 申请日： | 2023-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN116774406A | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 陈志特;吴中海;王重桂;王华 | 申请（专利权）人： | 东莞锐视光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B17/06 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及光刻镜头技术领域，尤其涉及一种光刻镜头，包括：第一透镜组件和导光装置。第一透镜组件包括透镜座和至少一个光学透镜，光学透镜安装于透镜座。导光装置包括壳体和至少一个反射组件，反射组件安装于壳体。在光束的传播过程中通过第一透镜组件改变光束的出射光角，以使光束的出射光角符合预期要求。光束从入光口进入壳体，再经反射组件反射，使光束的路径呈折线形，从而在不减小光束的传播距离的情况下减小设备尺寸长度。由于光束的传播距离未减小，因此光束有足够的传播距离，以使从光刻镜头的照射区域的面积扩大至预期范围。如此，减小光刻镜头的尺寸，并且使光刻镜头的出射光的准直性以及照射区域面积在预期范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 镜头 | ||
【主权项】：
暂无信息
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